[发明专利]一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构

权利要求书

1.一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座（1），内圈（5）以及外圈（2），其特征在于，所述的内圈（5）、外圈（2）共圆心，且内圈（5）与外圈（2）之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块（13），第二驱动模块（14），第三驱动模块（15）；

所述的驱动模块包括压电叠堆（3），位移放大机构（4）；所述压电叠堆（3）设置在位移放大机构（4）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的压电叠堆（3）两端通过楔形块（8）与位移放大机构（4）相连接。

3.根据权利要求2所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的位移放大机构（4）有四个斜边，所述的斜边与驱动方向成10°的薄板。

4.根据权利要求3所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的位移放大机构（4）的斜边与两侧连接处设置有有柔性铰链。

5.根据权利要求1所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的放大机构（4）的一端设置球面凹槽和内螺纹孔，另一端设置有内螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的放大机构（4）设置有内螺纹孔的一端通过螺钉与外圈（2）连接；所述的放大机构（4）另一设置球面凹槽和内螺纹孔的一端通过钢珠（7）和内六角紧固螺钉（6）与内圈（5）连接。

7.根据权利要求1所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的内圈（5）通过放大机构（4）与外圈（2）相连，外圈（2）通过螺栓固定在基座上。