[发明专利]空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测方法与装置有效
申请号: | 201611038963.6 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN106770154B | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 祝连庆;王帅;张雯;姚齐峰;董明利;娄小平;骆飞 | 申请(专利权)人: | 北京信息科技大学 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;G01J3/44;G01J3/02 |
代理公司: | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人: | 顾珊;庞立岩 |
地址: | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空间 调焦 激光 差动 共焦拉曼 光谱 探测 方法 装置 | ||
1.一种空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测装置,包括激发光束系统、望远调焦系统、二向色分光系统、第一分光系统、拉曼光谱探测系统、差动共焦探测系统及数据处理模块和计算机控制系统;
其中,所述激发光束系统和望远调焦系统沿光路依次置于二向色分光系统的反射方向;
所述的第一分光系统置于二向色分光系统的透射方向,拉曼光谱探测系统位于第一分光系统的透射方向,差动共焦探测系统位于第一分光系统的反射方向;
所述的数据处理模块与拉曼光谱探测系统、差动共焦探测系统和望远调焦系统连接;
所述望远调焦系统包括望远调焦机构,望远调焦镜和望远集光镜,望远调焦机构连接所述数据处理模块;
激发光束系统产生激发光,经二向色分光系统反射,经望远调焦镜后,聚焦在被测样品上,并在样品上激发出瑞利散射光和载有被测样品光谱特性的拉曼散射光,激发出的拉曼散射光和瑞利散射光被系统收集回光路,经过望远调焦系统和二向色分光系统透射后,拉曼散射光和部分瑞利散射光经第一分光系统分光,部分瑞利散射光被反射进入差动共焦探测系统进行位置探测,拉曼散射光透射进入光谱探测系统进行光谱探测,数据处理模块控制望远调焦机构调焦,使激发光聚焦在样品上,使共焦响应曲线最大,完成激发光束的自动聚焦。
2.根据权利要求1所述的空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测装置,其特征在于,所述的激发光束系统还包括偏振调制器和光瞳滤波器。
3.根据权利要求2所述的空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测装置,其特征在于,所述光瞳滤波器位于偏振控制器与二向色分光系统之间或位于二向色分光系统与望远调焦系统之间。
4.根据权利要求1所述的空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测装置,其特征在于,所述拉曼光谱探测系统是普通拉曼光谱探测系统,包括沿光路依次放置的第五聚光镜,位于第五聚光镜焦点位置的第一光谱仪及位于第一光谱仪后的第二探测器;或是共焦拉曼光谱探测系统,包括沿光路依次放置的第七聚光镜,位于第七聚光镜焦点位置的第三针孔,位于第三针孔后的第八聚光镜,位于第八聚光镜焦点位置的第二光谱仪及位于第二光谱仪后的第三探测器。
5.根据权利要求1所述的空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱探测装置,其特征在于,所述数据处理模块包括差动共焦数据处理模块、数据融合模块和数据控制模块。
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