[发明专利]空间光调制器的法布里‑珀罗干涉式宽谱段选频采集装置在审

专利信息
申请号: 201611041626.2 申请日: 2016-11-21
公开(公告)号: CN106596421A 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 戴琼海;高彬;张晶;邵航;范静涛 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N21/27 分类号: G01N21/27
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 代理人: 张大威
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 空间 调制器 法布里 干涉 式宽谱段选频 采集 装置
【权利要求书】:

1.一种空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,包括:

采集光路,所述采集光路用于从待测样本中采集预设谱段光信号;

准直透镜,所述准直透镜用于对所述预设谱段光信号进行准直处理后,输出平行光束;

法珀腔,所述法珀腔用于对所述平行光束进行滤波,输出预设波长的光波;

光信号采集装置,所述光信号采集装置用于采集所述预设波长的光波,并对所述光波进行降噪后转化为对应的光谱信号。

2.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述采集光路由光纤探头或消色差物镜组构成,其中,所述光纤探头的出射光或所述消色差物镜组像方的数值孔径与所述准直透镜的物方数值孔径相匹配。

3.根据权利要求2所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,所述准直透镜与所述光纤探头的末端或与所述消色差物镜组的后焦点保持一个焦距的距离。

4.根据权利要求1-3任一项所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述准直透镜由单个非球面镜或单透镜或双胶合透镜或准直透镜组或微透镜阵列或柱面镜构成。

5.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述法珀腔由基底和镀在所述基底两侧平行表面的反射膜组成,其中,所述基底由透光率高于预设透光率的介质或空气构成,所述反射膜由介质膜或金属膜构成。

6.根据权利要求5所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述预设波长根据所述基底的厚度和折射率确定。

7.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述光信号采集装置由空间光调制器、一个会聚透镜组成、单点探测器和光电探测器控制电路组成,其中,

所述空间光调制器以预设角度放置在所述法珀腔后面,将通过法所述珀腔滤波后的所述光波反射至一角度,并在反射的出射光路上放置所述会聚透镜,以将得到的反射光会聚到所述单点探测器上。

8.根据权利要求7所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述空间光调制器为线阵空间光调制器或面阵空间光调制器。

9.根据权利要求7所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述单点探测器由光电倍增管及其驱动电路组成。

10.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述预设谱段光信号的谱段为200nm至2500nm。

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