[发明专利]一种SF6的在线快速测量装置及方法在审
申请号: | 201611044508.7 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN108088892A | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 黄卫;李海洋;王卫国;陈创;渠团帅;王祯鑫;鞠帮玉;王永超;厉梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子迁移谱 水汽 负离子模式 大气环境 掺杂剂 掺杂 测量 放大器 离子迁移谱系统 在线快速测量 化学反应 分子离子峰 空气过滤器 质量流量计 吸气 掺杂剂瓶 方式检测 干燥环境 监测装置 湿度环境 在线监测 直接进样 真空泵 采样 灵敏 监测 检测 | ||
1.一种SF
装置包括:漂气(1)、第一质量流量计(2)、样品气(3)、空气过滤器(4)、掺杂剂瓶(5)、掺杂剂(6)、离子迁移谱系统(7)、信号放大器(8)、信号采集及显示设备(9)、第二质量流量计(10)、真空泵(11)、尾气(12);
离子迁移谱系统(7)气路包括漂气口、进样口、尾气口;漂气气源中的漂气(1)经第一质量流量计(2)与离子迁移谱系统(7)漂气口相连;样品气(3)与空气过滤器(4)直接与掺杂剂瓶(5)上部的进气口相连,掺杂剂瓶(5)上部的出气口与离子迁移谱系统(7)的进样口相连;于掺杂剂瓶(5)内放置有内部装填掺杂剂(6)的密闭容器,密闭容器顶端上开设有作为透气孔的通孔;
离子迁移谱系统(7)尾气口的尾气(12)经第二质量流量(10)计与真空泵(11)的进气口相连;尾气(12)经质量流量计(10)由真空泵(11)排出;
离子迁移谱系统(7)输出的电信号经信号放大器(8)后由信号采集及显示设备(9)采集并输出。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:掺杂剂瓶(5)外部设有电加热装置;所述电加热装置是指:掺杂剂瓶(5)置于一电加热套内或水浴槽内或油浴槽内、或于掺杂剂瓶(5)的壁面上设有电加热丝、电加热管或电加热带;
于掺杂剂瓶(5)的侧壁面上设有测温热电偶,测温热电偶通过导线与温度控制器信号连接,电加热装置经温度控制器与外电路连接。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:空气过滤器(4)为采用聚四氟乙烯微孔滤膜为过滤膜的空气过滤器。
4.一种采用权利要求1-3任一所述装置的SF
漂气(1)为干净的空气,经质量流量计(2)通过漂气口进入离子迁移谱系统(7)中;
含已知浓度SF
样品气经空气过滤器(4)除固体颗粒物后通过掺杂剂瓶(5)恒温恒湿后进入离子迁移谱系统中进行样品中SF
将样品气的离子迁移谱图与标样气的离子迁移谱图比对,获得样品气中SF
5.根据权利要求4所述的SF
6.根据权利要求4所述的SF
所述离子迁移谱系统(7)工作气路共为三路,即漂气、样品气、尾气;在真空泵(11)的作用下,漂气(1)和样品气(3)被吸入离子迁移谱系统(7)中,同时用质量流量计(2)和(10)分别测量漂气和尾气的流量,二者流量之差即为样品气(3)采样量;经过测量后的尾气(12)由真空泵(11)排出。
7.根据权利要求4所述的SF
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