[发明专利]一种载板组合及加热装置

说明书

本发明公开了一种载板组合及加热装置，其中所述载板组合包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。本发明使得载板易于拆卸，方便维护保养，同时并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种载板组合及加热装置。

背景技术

现有的载板通常在一整块金属板或非金属版上开槽或孔制成大载板，然后再在槽或孔中放置产品，最后将载板连同产品一同放置在加热板上进行加热。

其中，异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，相对传统单/多晶硅电池，有更高的发电效率，更好的稳定性和更低的成本。其PN结制备工序是采用板式PECVD制成。PN结制备工序是异质结太阳能电池制备过程一道重要的工序，一般是在板式PECVD制成，如图1所示的载板，为板式PECVD制成PN结常用工具，其是在一整块金属板或非金属版上开槽或孔制成大载板，然后在槽或孔中放置硅片，最后将PECVD载板放置在如图2所示的加热板上，由于载板较大，容易变形，使得载板和加热板之间产生间隙，导致放置载板上的硅片温差较大，且使得等离子体变得不均匀，容易产生电弧放电，严重影响PN结的制备质量。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种载板组合及加热装置，其解决了加热时产品受到载板变形的影响，易于拆卸，方便维护保养，提高了生产效率。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种载板组合，其包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。

进一步的，所述开孔的内边设有台阶形支撑部，需承载的物体放置在开孔内并卡设在开孔内边的台阶形支撑部上。

进一步的，所述M×N个载板相互独立不相连。

进一步的，所述载板框架由多块基板首尾相连构成。

进一步的，所述支撑结构为多条金属丝，所述金属丝的至少一端通过弹簧张紧机构可调节式的张紧在载板框架内。

进一步的，所述弹簧张紧机构包括弹簧、弹簧支撑块、弹簧支撑块压板，所述弹簧顶在弹簧支撑块上，所述金属丝被弹簧支撑块压紧固定。

进一步的，所述基板为金属板或非金属板或金属板和非金属板的组合。

一种加热装置，其包括载板组合和加热板，所述载板组合放置于加热板上。

进一步的，所述加热板上设有与金属丝对应的收容部。

本发明采用以上设计方案，具有如下的有益效果：

1、通过在载板框架上设置支撑结构，将M×N个载板可拆卸式的放置在支撑结构上，并且M×N个载板相互独立不相连，使得载板易于拆卸，方便维护保养，并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响；同时开孔结构可实现快速加热。

2、通过采用弹簧张紧机构，随着制备工艺过程中加热装置温度的提高，金属丝的长度由设于载板框架一侧的弹簧张紧机构进行调节，从而使得金属丝不受温度的影响而保持其张紧状态，因此使放置到载板上的产品不会因载板的变形而受到影响；