[发明专利]垂直式探针装置的探针座

说明书

本发明涉及一种垂直式探针装置的探针座，包含有一下导板、一固定在所述下导板上的中导板、至少一固定在所述中导板上的上导板，以及至少一补强板，所述至少一补强板固定设置于所述中导板的至少一贯穿槽内，所述下导板具有位于所述中导板的贯穿槽下方的多个下探针孔，以供多个探针分别穿设于所述多个下探针孔且穿过所述中导板的贯穿槽，所述至少一上导板具有位于所述中导板的贯穿槽上方的多个上探针孔，以供所述多个探针分别穿设于所述多个上探针孔，所述至少一补强板设有多个中探针孔，以供所述多个探针分别穿设于所述多个中探针孔；由此，所述探针座具有良好的刚性，可避免弯曲变形的问题。

技术领域

本发明与用于探针卡的探针装置有关，特别是指一种垂直式探针装置的探针座。

背景技术

半导体芯片进行测试时，测试机通过探针卡与待测物(Device Under Test；简称DUT)电性连接，并通过讯号传输及讯号分析获得待测物的测试结果。习用的探针卡通常由电路板及探针装置组成，或者还包括设于电路板及探针装置之间的空间转换器。习用的垂直式探针装置通常包括探针座，以及多个概呈直立的穿设于探针座的垂直式探针(vertical probe)，各个垂直式探针，例如弹簧针(pogo pin)，对应待测物的电性接点排列，用来同时点触各个电性接点。

上述垂直式探针装置的探针座通常包括依序相叠的上、中、下导板，上、下导板分别设有多个探针孔，中导板设于上、下导板之间且呈中空状，即，中导板中央设有贯穿槽，上、下导板的探针孔隔着贯穿槽而相对，各个垂直式探针穿设于上导板的探针孔，并穿设于下导板的探针孔，且穿过中导板的贯穿槽，各个垂直式探针具有凸伸出下导板的底端，用来点触待测物的电性接点。

当待测物的电性接点相当密集时，探针装置需对应设置密集分布的大量探针，甚至，若所述探针装置是一种能同时对多个待测物进行点测的平行测试探针装置(Multi-DUTprobe head)时，则会设置更多探针。然而，习用探针座的中导板因呈中空状而使探针座的刚性较差，且提供了上、下导板弹性变形的空间，因此，当设于探针座的大量探针同时进行点测时，其反作用力容易造成探针座弯曲变形。尤其，对于平行测试探针装置(Multi-DUTprobe head)的探针座而言，各个导板的面积大，且中导板的贯穿槽范围也大，又因设有更多探针而会受到更大的反作用力，因此更容易产生探针座弯曲变形的问题。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种垂直式探针装置的探针座，其具有较佳的刚性，因此可避免弯曲变形的问题。

为达到上述目的，本发明所提供的一种垂直式探针装置的探针座，其特征在于包含有：一下导板、一中导板、至少一上导板以及至少一补强板。所述下导板具有多个下探针孔，以供多个探针分别穿设于所述多个下探针孔；所述中导板固定在所述下导板上，且所述中导板具有至少一贯穿槽，所述多个下探针孔位于所述中导板的贯穿槽下方，以供所述多个探针穿过所述中导板的贯穿槽；所述至少一上导板固定在所述中导板上，且所述至少一上导板具有多个上探针孔，所述多个上探针孔位于所述中导板的贯穿槽上方，以供所述多个探针分别穿设于所述多个上探针孔；所述至少一补强板固定设置于所述至少一贯穿槽内，且所述至少一补强板设有多个中探针孔，以供所述多个探针分别穿设于所述多个中探针孔。

其中，所述中导板的贯穿槽的至少一边缘具有一呈凸出状的补强块。

所述中导板的贯穿槽具有相对的二个所述补强块。

所述中导板的补强块通过至少一螺丝固定于所述下导板。

所述探针座具有多个检测区，各个所述检测区分别对应一待测物，所述补强块位于相邻的二个所述检测区之间。

所述至少一补强板的形状与所述至少一贯穿槽的形状互补。

所述至少一补强板通过至少一螺丝固定于所述下导板。