[发明专利]一种弹性电路或电极的制备方法以及制备装置

权利要求书

1.一种弹性电路或电极的制备方法，采用液态金属与弹性体，其特征是：包括如下步骤：

(1)准备模板电路或电极

所述模板电路或电极是可导电的；所述模板电路或电极与衬底固定连接在一起，组成电路板或电极板；

(2)所述的液态金属粒径细化为纳米至微米级；

(3)复制模板电路或电极的图案

将所述电路板或电极板置于第一容器中，外部电源一端连接该电路板或电极板，另一端置于该第一容器中；使用连接管与连接泵，连接管一端插入经步骤(2)处理后的液态金属微球溶液中，在连接泵的作用下将液态金属微球向上抽出后自连接管另一端注入所述第一容器中；开启电源，以液态金属微球溶液作为电解质，外部电源、电路板或电极板以及液态金属构成导电回路，在电流作用下，纳米或微米级液态金属“吸附”在所述模板电路或电极表面；

(4)将液态的弹性体浸没经步骤(3)处理后的电路板或电极板表面，然后固化该弹性体，最后将该弹性体剥离所述电路板或电极板，“吸附”在模板电路或电极表面的液态金属随之剥离，得到嵌在弹性体基底的电路或电极，该电路或电极由液态金属构成。

2.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的液态金属包括汞、镓铟合金、镓铟锡合金、掺杂的镓铟合金或者掺杂的镓铟锡合金，其中掺杂是采用过渡族金属、固态非金属元素的一种或几种进行掺杂。

3.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述弹性体包括硅胶、聚二甲基硅氧烷、橡胶、水凝胶、聚氨酯、SEBS、POE中的一种或者几种。

4.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：利用沉积法、微纳加工法或者化学腐蚀制备所述模板电路或电极。

5.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的步骤(2)中，利用超声法使液态金属粒径在纳米至微米级范围。

6.如权利要求5所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：超声频率大于20KHZ、超声温度大于-20℃。

7.如权利要求5所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：将液态金属与溶剂充分混合后利用超声法细化液态金属粒径。

8.如权利要求5所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的步骤(3)中，在金属液体抽出的过程中，保持连接管与金属液体接触的一端始终与金属液面的上表面相接触。

9.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的步骤(3)中，开启电源的同时，在第一容器中加入碱溶液或酸溶液。

10.如权利要求9所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的步骤(3)中，开启电源的同时，在第一容器中喷洒碱溶液或酸溶液。

11.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述的步骤(4)中，采用水浴固化该弹性体，即，将经步骤(3)处理后的电路板或电极板置于第三容器中，然后在第三容器中加入液态的弹性体，使其浸没该吸附液态金属的电路板或电极板表面，最后将该第三容器放入水浴中，使弹性体固化。

12.如权利要求1所述的弹性电路或电极的制备方法，其特征是：所述步骤(4)中，待弹性体固化后，将所述电路板或电极板进行冷冻处理，然后将该弹性体剥离所述电路板或电极板。