[发明专利]一种硅晶棒装夹装置在审
申请号: | 201611049954.7 | 申请日: | 2016-11-24 |
公开(公告)号: | CN106426582A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 徐永亮;吴智洪;张国华;张红臣 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 321015 浙江省金华市金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅晶棒装夹 装置 | ||
【权利要求书】:
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