[发明专利]泄漏检查装置及泄漏检查方法

权利要求书

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，具备：

检查腔室，其能够收纳工件；

按压构件，通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；

气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；

泄漏检测构件，其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测；

锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止；

所述锁止构件在所述示踪气体的供给前，在通过所述按压构件施加于所述密封部件的按压力比所述工件按压所述密封部件而使其返回的力大、且比所述示踪气体按压所述密封部件而使其返回的反作用力与所述力的合力小的状态下，使所述密封部件的移动停止。

2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述按压构件利用油压缸构成，所述锁止构件利用使所述油压缸的流体的流动停止的阀构成。

3.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述按压构件具备与所述密封部件抵接而进行按压的按压板部，

所述锁止构件具有止动部件，所述止动部件与所述按压板部抵接而使所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。

4.一种泄漏检查方法，

在能够收纳工件的检查腔室内，

通过按压密封部件使其与所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而处于将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部的状态，

向所述工件的内部侧或外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体，

对所述示踪气体从所述一方的密闭空间部向另一方的密闭空间部的泄漏进行检测，

所述泄漏检查方法的特征在于，

在施加于封堵所述开口部的所述密封部件的按压力比所述工件按压所述密封部件而使其返回的力大、且比所述示踪气体按压所述密封部件而使其返回的反作用力与所述力的合力小的状态下，使所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止，向所述一方的密闭空间部供给所述示踪气体。