[发明专利]主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机

权利要求书

1.一种主动对焦机构，用于具有自动齐焦功能的激光直写光刻机，其特征在于，包括分光模块、自动对焦模块、Z轴模块、XY轴载物平台，其中，

所述分光模块对所述自动对焦模块发出的光束进行分光，使所述光束通过所述Z轴模块投射至所述XY轴载物平台；

所述XY轴载物平台用于放置需要进行曝光的曝光基底；

所述XY轴载物平台包括位于水平方向的二维自由度，能够实现XY轴联动；

所述Z轴模块具有与水平方向垂直的一维自由度，能够在Z轴方向上自由移动，实现对焦调节。

2.根据权利要求1所述的主动对焦机构，其特征在于，还包括第一成像模块，其中，

所述分光模块位于所述第一成像模块上，所述第一成像模块提供物象关系。

3.根据权利要求1所述的主动对焦机构，其特征在于，所述自动对焦模块包括自动对焦光源。

4.根据权利要求1所述的主动对焦机构，其特征在于，所述分光模块包括分光棱镜。

5.根据权利要求4所述的主动对焦机构，其特征在于，所述分光棱镜与水平面呈45度夹角放置。

6.一种光路系统，用于具有自动齐焦功能的激光直写光刻机，其特征在于，包括曝光光源、光学照明系统、空间光调制器以及如权利要求1-5任一项所述的主动对焦机构，其中，

所述曝光光源发出的光束经所述光学照明系统进行整形，整形后的光束经所述空间光调制器形成具有图形信息的光束；

具有图形信息的光束投射至所述主动对焦机构。

7.根据权利要求6所述的光路系统，其特征在于，还包括第二成像模块，其中，

所述第二成像模块位于所述空间光调制器与所述主动对焦机构之间。

8.根据权利要求6所述的光路系统，其特征在于，所述空间光调制器为数字微镜。

9.根据权利要求6所述的光路系统，其特征在于，所述曝光光源为非脉冲光源。

10.一种激光直写光刻机，其特征在于，包括多个如权利要求6-9任一项所述的光路系统。