[发明专利]微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置有效
| 申请号： | 201611052879.X | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106381475B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 杜凯;王涛;刘磊;何小珊;陈果;刘艳松;何智兵 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621037*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微球涂覆类 金刚石 薄膜 滚动 震荡 装置 | ||
【说明书】：
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