[发明专利]压印装置和物品的制造方法

权利要求书

1.一种用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于该装置包括：

多个对准观察仪；和

控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，

其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且

其中，控制单元分别相互比较从多个对准观察仪输出的多条信息，并且在比较的各条信息之间的差异量超过预定基准值的情况下，将超过预定基准值的各条信息识别为由基板引起的不正确信息，并且

其中，控制单元基于分别从所述多个对准观察仪输出的多条信息之中排除了所述不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准，

其中，基板具有多个压射区域，

其中，模具执行在基板的多个压射区域之中的每一个上形成压印材料的图案的压印处理，

其中，控制单元针对基板的多个压射区域之中的每一个执行识别不正确信息的控制，以及

其中，控制单元针对已对其识别不正确信息、已基于所述多条信息之中排除了不正确信息的信息执行了对准控制的压射区域的下一压射区域执行识别不正确信息的控制。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元基于通过处理从各个对准观察仪输出的信息获取的信号的对比度、畸变和强度中的至少一个识别不正确信息。

3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，通过基于从对准观察仪输出的信息获取指示用对准观察仪观察的第一标记与第二标记的相对位置的检测结果，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息获取多个检测结果，并且将导致与所述多个检测结果的平均值相差超过预定基准的值的检测结果的信息识别为不正确信息。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元控制选自所述多个对准观察仪中的对准观察仪，使得该对准观察仪观察构成与关于不正确信息的第一标记和第二标记的对不同的对的第一标记和第二标记以产生信息，并且通过使用该信息而非不正确信息来控制压射区域和模具的对准。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元控制所述多个对准观察仪中的输出排除了不正确信息的信息的对准观察仪，使得该对准观察仪重新观察已被观察的第一标记和第二标记，并且控制单元基于排除了不正确信息的信息和通过重新观察获取的信息控制压射区域和模具的对准。

6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，当产生了不正确信息时，控制单元基于排除了不正确信息的信息以及关于与所述基板不同的基板的通过使用所述多个对准观察仪事先获取的信息来控制压射区域和模具的对准。

7.根据权利要求6所述的压印装置，其中，事先获取的信息是对与所述基板不同的基板的多个压射区域之中的在设计上被部署于与压射区域相同的位置中的压射区域事先使用所述多个对准观察仪获取的信息。

8.根据权利要求1所述的压印装置，其中，当产生了不正确信息时，控制单元基于排除了不正确信息的信息和关于所述基板的另一压射区域的通过使用所述多个对准观察仪事先获取的信息来控制压射区域和模具的对准。