[发明专利]一种掩模版版盒有效
申请号: | 201611061938.X | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN108107672B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 王刚;张荣军;黄栋梁 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模版 | ||
1.一种掩模版版盒,其特征在于,包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖,所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔,所述开口的一侧设有门板,所述底板上设有若干掩模版支座,所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙,所述中框的纵截面为H型结构,所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙,所述横档的下表面与所述底板之间的距离用于提供具有掩模版保护的版叉取放版高位到低位的活动空间,所述H型结构的第一竖边的底部与掩模版上表面的距离作为掩模版与版盒之间的定位基准,所述第一竖边的下表面与所述掩模版下表面的距离大于3mm且小于所述掩模版的厚度,所述顶盖和所述底板之间设有弹簧组件,所述H型结构的横档与顶盖之间设有空隙以作为所述弹簧组件的活动空间,所述弹簧组件为倒L型结构,其横边活动设于所述顶盖的左、右侧,其下端与掩模版对应以压紧掩模版。
2.根据权利要求1所述的掩模版版盒,其特征在于,所述底板上设有若干底板安装柱,所述底板安装柱的位置与所述H型结构位于外侧的第二竖边对应。
3.根据权利要求1所述的掩模版版盒,其特征在于,所述门板上还设有条码扫描区。
4.根据权利要求1所述的掩模版版盒,其特征在于,所述中框包括相对设置的左、右侧面和两端分别连接所述左、右侧面的后侧面,所述左、右侧面上分别设有顶盖锁紧件。
5.根据权利要求4所述的掩模版版盒,其特征在于,所述掩模版支座包括两个靠近所述开口一侧的第一支座和远离所述开口一侧的第二支座。
6.根据权利要求5所述的掩模版版盒,其特征在于,两个所述第一支座与所述中框左、右侧面之间的最小距离相同。
7.根据权利要求5所述的掩模版版盒,其特征在于,两个所述第二支座与所述中框的后侧面之间的距离相同。
8.根据权利要求5所述的掩模版版盒,其特征在于,所述第二支座的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离大于取放掩模版时掩模版版叉的掩模版定位面与所述中框的后侧面之间的距离。
9.根据权利要求5所述的掩模版版盒,其特征在于,所述第二支座的侧面与所述掩模版版叉的侧面之间的最小距离大于2mm。
10.根据权利要求4所述的掩模版版盒,其特征在于,所述顶盖与所述中框后侧面的顶部活动连接。
11.根据权利要求1所述的掩模版版盒,其特征在于,所述顶盖与所述门板之间活动连接。
12.根据权利要求1所述的掩模版版盒,其特征在于,所述顶盖上表面设有标识区域。
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