[发明专利]LDI内层对位方法及系统有效
| 申请号： | 201611062209.6 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106371298B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张立 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ldi 内层 对位 方法 系统 | ||
【权利要求书】：
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