[发明专利]多晶硅生产的渣浆处理系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产的渣浆处理系统，其特征在于：包括第一沉降罐、旋转搅拌蒸发釜、换热器、残液塔及氯硅烷储罐，其中，第一沉降罐用于接收来自于冷氢化粗馏塔的渣浆，第一沉降罐、换热器、残液塔、氯硅烷储罐依次相连，旋转搅拌蒸发釜同时与第一沉降罐、换热器和残液塔相连，第一沉降罐用于沉降冷氢化粗馏塔的渣浆，换热器用于将第一沉降罐中沉降后的上层清液换热后送入残液塔提纯，残液塔用于将提纯后的氯硅烷送入氯硅烷储罐，旋转搅拌蒸发釜用于将第一沉降罐中沉降后的下层渣浆和来自于残液塔的杂质搅拌加热蒸发分离，分离后的氯硅烷送入换热器换热，固体干硅固渣粉末排出。

2.如权利要求1所述的多晶硅生产的渣浆处理系统，其特征在于，还包括用于接收来自于冷氢化洗涤塔渣浆的第二沉降罐，第二沉降罐同时与第一沉降罐和旋转搅拌蒸发釜相连，用于将第一沉降罐中的下层渣浆和冷氢化洗涤塔渣浆沉降处理后送入旋转搅拌蒸发釜进行搅拌加热蒸发。

3.如权利要求2所述的多晶硅生产的渣浆处理系统，其特征在于，还包括与旋转搅拌蒸发釜连接的过滤器及与过滤器相连的废气处理装置。

4.如权利要求1所述的多晶硅生产的渣浆处理系统，其特征在于，还包括用于替换第一沉降罐的第一备用沉降罐。

5.如权利要求2所述的多晶硅生产的渣浆处理系统，其特征在于，还包括用于替换第二沉降罐的第二备用沉降罐。