[发明专利]一种中心通冷却液冷却的电主轴及减薄机有效
申请号: | 201611064530.8 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN106493617B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 贾月明;王明权;杨宽;李战伟;李雪 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B55/03;H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 中心 冷却液 冷却 主轴 减薄机 | ||
【权利要求书】:
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