[发明专利]一种用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层有效

申请号：	201611075921.X	申请日：	2016-11-25
公开（公告）号：	CN106653894B	公开（公告）日：	2018-06-29
发明（设计）人：	罗雷	申请（专利权）人：	罗雷
主分类号：	H01L31/032	分类号：	H01L31/032
代理公司：	深圳市精英专利事务所 44242	代理人：	冯筠
地址：	528000 广东省佛山市三水***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	超薄层应力缓冲薄膜复合层衬底背接触层铜铟镓硒薄膜太阳能电池阻挡层沉积重复太阳能电池有效地卷曲
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【权利要求书】：

1.一种用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，包括柔性衬底(1)、应力缓冲复合层(3)、两片Pd薄膜阻挡层，其特征在于，所述应力缓冲复合层(3)形成在柔性衬底(1)上，所述两片Pd薄膜阻挡层形成在应力缓冲复合层(3)上，所述应力缓冲复合层(3)由Pd超薄层和Cu超薄层重复沉积形成，所述Pd超薄层和Cu超薄层的厚度范围均为1～5nm，所述重复沉积次数范围为20至50次，两片Pd薄膜阻挡层包括第一Pd薄膜(4)和第二Pd薄膜(5)。

2.根据权利要求1所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述两片Pd薄膜阻挡层为低阻残余压应力Pd薄膜。

3.根据权利要求2所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述柔性衬底(1)上还形成金属Cr或Al₂O₃过渡层(2)。

4.根据权利要求3所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述金属Cr或Al₂O₃过渡层(2)的厚度为100至500nm。

5.根据权利要求1‐4任意一项所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述应力缓冲复合层(3)在重复沉积后在300℃的温度下退火30分钟。

6.根据权利要求5所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述Pd超薄层和Cu超薄层由磁控溅射形成。

7.根据权利要求6所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述第二Pd薄膜(5)溅射条件为：工作气体压强0.4‐1.0Pa，溅射密度为2～2.5W/mm²。

8.根据权利要求6或7所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述Cu超薄层换成Ni超薄层。

9.根据权利要求6或7所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述Cu超薄层换成PdCu合金超薄层。

10.根据权利要求6或7所述的用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，其特征在于，所述Cu超薄层换成PdNi合金超薄层。

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