[发明专利]一种管状大容积等离子体聚合涂层装置

权利要求书

1.一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：真空室(1)为管状，真空室(1)的内壁上安装有电极(2)和导轨(3)，其中电极(2)为柱面形，位于与真空室(1)同轴的柱面上，电极(2)分开为至少两部分，留出的空隙安装导轨(3)，电极(2)与导轨(3)不接触；治具(4)安装在导轨(3)上，与真空室(1)同轴，待处理的基材(5)装在治具(4)内，真空室(1)的顶部沿轴向间隔设置载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)，真空室(1)的底部沿轴向间隔设置真空排气管路(8)，真空室(1)的两端安装真空室门(9)。

2.根据权利要求1所述的一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的真空室(1)的内径为30-80cm，长度为0.5-10m。

3.根据权利要求1所述的一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的电极(2)与真空室(1)内壁之间的间隙为10-60mm。

4.根据权利要求1所述的一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的电极上布满通孔，孔径为2-30mm，孔间隔为2-30mm，电极的材质为铝或不锈钢。

5.根据权利要求1所述的一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的每相邻两个载体气体管路(6)之间的间隔为30-80cm，所述每相邻两个单体蒸汽管路(7)之间的间隔为30-80cm，所述每相邻两个真空排气管路(8)之间的间隔为30-80cm。

6.根据权利要求1所述的一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的治具(4)为金属或塑料制成的筒状笼子。