[发明专利]一种硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池

权利要求书

1.一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动；

所述工具电极为导电辊，所述导电辊表面径向设置有电极丝阵列。

2.如权利要求1所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述驱动装置还用于驱动所述工件电极上下移动，调整所述工具电极和工件电极之间的距离。

3.一种采用权利要求1-2任一项所述硅片表面的绒面的制造装置的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）准备硅片，清洗硅片表面；

（2）将硅片固定在所述工件电极上；

（3）将工具电极和工件电极连接脉冲电源的两极，脉冲电源向工具电极和工件电极提供脉冲电压；

（4）驱动装置驱动工具电极和工件电极使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动，电极丝在硅片表面快速滑过，形成电火花加工过程，在硅片表面制得均匀的绒面结构；

（5）将步骤（4）中获得的绒面结构的硅片进行清洗、烘干。

4.如权利要求3所述的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于：所述硅片为单晶硅片、多晶硅片、类单晶硅片或直接硅片。

5.如权利要求3或4所述的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于：步骤（4）中所述工具电极和工件电极之间的相对移动为水平方向上的移动。

6.如权利要求5所述的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于：所述步骤（4）中所述工具电极和工件电极之间的相对移动为工具电极水平移动，或工件电极水平移动，或工具电极和工件电极同时水平移动。

7.一种采用权利要求3-6硅片表面的绒面的制造方法制得的绒面太阳能电池。