[发明专利]一种金‑锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201611077769.9 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106783810A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王占杰;白宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司21001 | 代理人： | 崔晓蕾 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锆钛酸铅 纳米 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的成分组成满足下述要求：摩尔组成为Au:0.6-12mol％，Pb(Zr,Ti)O3:88–99.4mol％。
2.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的铁电剩余极化强度为30-80μC/cm2。
3.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料具有(111)面晶体择优取向。
4.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的下电极为商用Pt/Ti/SiO2/Si。
5.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的上电极为铂，厚度为50nm。
6.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料中Pb:Zr:Ti的摩尔比为10:0-8:2-10。
7.按照权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述纳米复合铁电薄膜的成分组成为Au:Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为0.012:1。
8.一种权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)、以水、醋酸和异丙醇为溶剂，氯金酸、乙酸铅、正丙醇锆和异丙醇钛为溶质，按照Au:Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为0.006-0.140:1，Pb:Zr:Ti的摩尔比为10:0-8:2-10，称取氯金酸、乙酸铅、正丙醇锆和异丙醇钛，分别加入水、醋酸和异丙醇，然后在室温下进行搅拌，搅拌至氯金酸、乙酸铅、正丙醇锆和异丙醇钛全部溶解为止，得到浅黄色透明溶液；
(2)、采用化学溶液沉积法，将步骤(1)配置好的溶液滴到Pt/Ti/SiO2/Si基片上旋涂，转速为1500转/分，时间为10秒，接下来调高转速为4000转/分，时间为40秒，得到原料膜；
(3)、将原料膜120℃干燥10分钟，350℃热分解有机物10分钟，升温到600℃退火30分钟后空冷；
(4)、重复(2)-(3)步骤过程数次，制得所需厚度的金-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜。
9.一种含有权利要求1所述纳米复合铁电薄膜材料的电容器，其特征在于：采用真空溅射技术在纳米复合铁电薄膜表面蒸镀铂电极，最终形成铂/金-锆钛酸铅/铂电容器结构。
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