[发明专利]一种激光封装装置和方法在审
申请号: | 201611086169.9 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN108123052A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 朱树存;王飞 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;C03C27/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 预压紧 激光封装 激光振镜 激光封装装置 移动 大面积基板 激光光路 装置布局 灵活 | ||
1.一种激光封装装置,其特征在于,从上至下包括:
激光源,用于提供封装的激光;
激光振镜,用于调整激光的光路;
预压紧单元,固定在所述激光振镜的一端,用于对两个待封装的玻璃基板进行预压紧操作。
2.如权利要求1所述的激光封装装置,其特征在于,所述预压紧单元为环形,围绕所述激光振镜设置。
3.如权利要求2所述的激光封装装置,其特征在于,所述预压紧单元设置有若干个气孔,所述气孔沿所述预压紧单元的圆周均匀分布,所述气孔内通入预设压力的压缩空气。
4.如权利要求3所述的激光封装装置,其特征在于,所述气孔的个数为16个。
5.如权利要求3所述的激光封装装置,其特征在于,所述预压紧单元面对所述玻璃基板的一面上分别设置有与所述气孔相通的倾斜喷嘴,每个所述倾斜喷嘴对应一个气孔,所述倾斜喷嘴用于调整所述压缩空气的喷射角度。
6.如权利要求5所述的激光封装装置,其特征在于,所述倾斜喷嘴将所述气孔内的压缩空气向所述玻璃基板上喷射,所有所述倾斜喷嘴的倾斜方向相交于一点,该点位于所述玻璃基板下方。
7.如权利要求5所述的激光封装装置,其特征在于,所述预压紧单元具有气路控制系统,所述气路控制系统包括皆与所述预压紧单元电路连接的压力开关、电磁阀、减压阀,所述压力开关反馈所述气孔内的压力值,所述电磁阀用于控制所述预压紧单元的打开与关闭,所述减压阀用于减小向所述气孔提供的压缩空气的气压。
8.如权利要求5所述的激光封装装置,其特征在于,所述倾斜喷嘴的截面形状为圆锥形。
9.如权利要求5所述的激光封装装置,其特征在于,所述预压紧单元内还设置有喷嘴调节装置,用于调节倾斜喷嘴的角度。
10.如权利要求9所述的激光封装装置,其特征在于,所述喷嘴调节装置为球形万向节。
11.如权利要求10所述的激光封装装置,其特征在于,所述球形万向节由吸振材料制成。
12.如权利要求10所述的激光封装装置,其特征在于,所述球形万向节具有吸振结构。
13.如权利要求1所述的激光封装装置,其特征在于,所述激光振镜从上至下包括镜头组和聚焦镜,所述镜头组位于所述激光源和所述聚焦镜之间。
14.如权利要求13所述的激光封装装置,其特征在于,所述镜头组包括X向偏振镜片和Y向偏振镜片。
15.如权利要求1所述的激光封装装置,其特征在于,所述激光源提供的激光波长为808nm或904nm。
16.如权利要求1所述的激光封装装置,其特征在于,设置有若干个如权利要求1~15中任一项所述的激光封装装置以及X向导轨,若干个所述激光封装装置固定在所述X向导轨上并沿着X向移动。
17.如权利要求16所述的激光封装装置,其特征在于,还包括一基板载台,用于放置待封装的玻璃基板,所述基板载台固定在Y向导轨上,所述基板载台沿着Y向移动。
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