[发明专利]一种碳化硅复合材料高温防护涂层的制备方法有效
申请号: | 201611088536.9 | 申请日: | 2016-12-01 |
公开(公告)号: | CN106756795B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 张小锋;刘敏;周克崧;邓春明;邓畅光;宋进兵;毛杰;张吉阜;杨焜;徐丽萍 | 申请(专利权)人: | 广东省新材料研究所 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/24;C23C14/58 |
代理公司: | 广东世纪专利事务所有限公司 44216 | 代理人: | 千知化 |
地址: | 510651 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅复合材料 高温防护涂层 制备 铝膜层 抗高温氧化性能 耐腐蚀性能 热处理 表面制备 超声清洗 酒精 清洗 蒸发 汽油 | ||
1.一种碳化硅复合材料高温防护涂层的制备方法,其特征是步骤如下:
1)将碳化硅复合材料依次用汽油和酒精进行超声清洗;
2)采用蒸发镀在清洗过的碳化硅复合材料表面制备厚度10~20μm的铝膜层;
3)对带有铝膜层的碳化硅复合材料进行热处理;
所述的热处理工艺是:使真空室压力小于9×10-3Pa,然后以10℃/min升温至700~900℃,保温2~4h,再将真空室压力增至3~7×10-2Pa,在700~800℃,保温4~6h,之后随炉冷却至35℃。
2.根据权利要求1所述的碳化硅复合材料高温防护涂层的制备方法,其特征是步骤2)所述蒸发镀铝的工艺是:使蒸发室压力小于9×10-3Pa,然后充入Ar气使压力增至0.02~0.08Pa,蒸发舟功率控制在15~25kW,铝丝传输速率为300~500mm/min,Ar离子轰击电压为1200~1600V。
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