[发明专利]一种调焦调平装置

权利要求书

1.一种调焦调平装置，其特征在于，包括依次设置在光束传播方向上的照明单元、带投影狭缝标记的投影标记板、投影成像组、折光棱镜、分光镜、探测单元及信号处理单元，所述照明单元产生的光束经所述投影标记板后形成测量光斑，所述投影成像组将所述测量光斑成像至基底表面，所述折光棱镜用于将经所述基底表面第一次反射的光束折转后再次入射至所述基底表面，所述分光镜用于将经所述基底表面第二次反射的光束折转至所述探测单元，所述信号处理单元根据所述探测单元测得的探测光斑计算所述基底表面的离焦倾斜量。

2.根据权利要求1所述的调焦调平装置，其特征在于，所述折光棱镜的横截面为等腰直角三角形。

3.根据权利要求2所述的调焦调平装置，其特征在于，所述折光棱镜的斜面垂直于经所述基底表面第一次反射的光束的光轴，且两直角面的交线棱位于经所述基底表面第一次反射的光束的光轴上。

4.根据权利要求2所述的调焦调平装置，其特征在于，所述等腰直角三角形的角度分别为45度、90度、45度。

5.根据权利要求1所述的调焦调平装置，其特征在于，所述投影成像组包括前透镜组和后透镜组，所述测量光斑经所述分光镜透射后依次入射至所述前透镜组、后透镜组及所述基底表面，经所述基底表面第二次反射的光束沿原路返回，并经所述分光镜反射至所述探测单元。

6.根据权利要求1所述的调焦调平装置，其特征在于，所述投影成像组包括前透镜组、双反射镜组及后透镜组，所述测量光斑依次入射至所述前透镜组和双反射镜组，之后经所述分光镜透射后依次入射至所述后透镜组及所述基底表面，经所述基底表面第二次反射的光束再次入射至所述后透镜组后被所述分光镜反射至所述探测单元。

7.根据权利要求1所述的调焦调平装置，其特征在于，所述调焦调平装置还包括探测镜组，所述探测镜组沿光束传播方向设置在所述分光镜和所述探测单元之间。

8.根据权利要求1所述的调焦调平装置，其特征在于，所述探测单元包括带探测狭缝标记的探测标记板和光能量探测器，所述光能量探测器用于探测透过所述探测狭缝标记的光能量变化。