[发明专利]一种采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法

权利要求书

1.一种采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征是，包括以下步骤：

(1)首先通过超声和加热，将热塑性聚合物固体溶解到溶剂中；

(2)然后将热塑性聚合物溶液旋涂在表面具有凸凹结构的软模板上，通过控制热塑性聚合物溶液的浓度、旋涂速度和旋涂时间，保证热塑性聚合物不完全填充软模板的凹陷结构处；

(3)然后通过氧等离子体或紫外臭氧对步骤(2)中软模板表面的热塑性聚合物进行亲水处理；

(4)最后在室温下将步骤(3)得到的表面附有热塑性聚合物的软模板与亲水基底接触，经过5～600s后，将软模板从基底表面分离，软模板凹陷结构的侧壁表面的聚合物转移到基底表面，得到分辨率远高于软模板结构的热塑性聚合物图案。

2.根据权利要求1所述的采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征在于：步骤(1)中的热塑性聚合物选自聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚苯乙烯-丁二烯共聚物、聚对苯乙烯-聚氧化乙烯共聚物、ABS树脂、聚丙烯酰胺、聚环氧乙烷中的一种。

3.根据权利要求1所述的采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征在于：步骤(2)、(3)及(4)中的软模板选自聚二甲基硅氧烷模板、三元乙丙橡胶模板、全氟聚醚模板、聚氨酯丙烯酸酯模板中的一种。

4.根据权利要求1所述的采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征在于：步骤(4)中的基底选自平面及曲面的硅片、氧化硅片、砷化镓片、石英片、导电玻璃片、聚合物片中的一种。

5.根据权利要求1所述的采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征在于：步骤(4)中的亲水基底是通过氧等离子体、紫外臭氧或亲水溶液处理基底而得到的。

6.根据权利要求5所述的亲水溶液处理基底，其特征在于：将基底放在氨水和双氧水的混合水溶液中，或将基底放在浓硫酸和双氧水的混合溶液中，在50～90℃加热条件下进行处理。

7.根据权利要求1所述的采用室温反压印技术制备高分辨率热塑性聚合物图案的方法，其特征在于：步骤(4)中的室温为0～40℃。