[发明专利]原料气体供给装置和原料气体供给方法

权利要求书

1.一种原料气体供给装置，其使原料容器内的固体或液体原料气化而与载气一起作为原料气体经由原料气体供给通路供给至对基板进行成膜处理的成膜处理部，所述原料气体供给装置的特征在于，包括：

用于对所述原料容器供给载气的载气供给通路；

从所述载气供给通路分支，绕过所述原料容器与原料气体供给通路连接的旁通流路；

与所述原料气体供给通路中的比所述旁通流路的连接部位靠下游侧的位置连接，用于使稀释气体与原料气体合流的稀释气体供给通路；

与所述载气供给通路和所述稀释气体供给通路分别连接的第一质量流量控制器和第二质量流量控制器；

设置于所述原料气体供给通路中的稀释气体供给通路的合流部位的下游侧的质量流量计；

将从所述载气供给通路至原料气体供给通路的载气流路在所述原料容器内与旁通流路之间进行切换的切换机构；和

控制部，其执行下述步骤：

在将所述载气流路切换至所述原料容器内的状态下，将原料气体与载气和稀释气体一起供给至所述成膜处理部内的基板的原料供给步骤；和

从新的原料容器内的原料的填充量减去包含基于所述原料供给步骤时的原料气体的实际流量所计算的原料的消耗量的累积消耗量，从而求取原料容器的剩余量的剩余量计算步骤，

在令所述第一质量流量控制器、第二质量流量控制器和质量流量计的流量的各测定值分别为m1、m2和m3时，利用以下的步骤求取所述原料气体的实际流量，所述步骤为：

在将所述载气流路切换至旁通流路侧的状态下，使载气和稀释气体流通而求取作为(m3－(m1+m2))的计算值的偏差值的步骤；和

在将所述载气流路切换至原料容器侧的状态下，使载气和稀释气体流通而求取(m3－(m1+m2))的计算值，从该计算值减去所述偏差值而求取原料的流量的实测值的步骤。

2.如权利要求1所述的原料气体供给装置，其特征在于：

所述控制部实施：在对批次中的最先的基板进行成膜处理之前，在将所述载气流路切换至原料容器侧的状态下，将载气和稀释气体供给至成膜处理部的虚拟供给步骤，

所述剩余量计算步骤中的累积消耗量包含基于虚拟供给步骤中的原料气体的实际流量所计算出的原料的消耗量。

3.如权利要求1或2所述的原料气体供给装置，其特征在于：

所述控制部实施：在对基板进行成膜处理之前，在将所述载气流路切换至原料容器侧的状态下，将载气和稀释气体供给至成膜处理部，在成膜处理部的内表面形成使原料气体和反应气体发生反应而得到的反应生成物的层的预涂敷步骤，

所述剩余量计算步骤中的累积消耗量包含基于预涂敷步骤中的原料气体的实际流量所计算出的原料的消耗量。

4.如权利要求1或2所述的原料气体供给装置，其特征在于：

在所述成膜处理部进行的成膜处理是对基板交替地供给原料气体和与原料气体反应的反应气体，在原料气体的供给与反应气体的供给之间供给置换用的气体而进行的成膜处理，

将所述载气流路切换至原料容器侧的状态下，使载气和稀释气体流通而求取(m3－(m1+m2))的计算值的步骤中的测定值m1、m2和m3，是令原料气体的供给、停止的周期为T时，n个周期的流量的积分值除以周期T而得到的值，其中，n为1以上的整数。

5.如权利要求4所述的原料气体供给装置，其特征在于：

所述控制部在对基板的批次中的最先的基板进行处理之前，从该批次的处理方案读取原料气体的供给、停止的周期T，

将所述载气流路切换至旁通流路侧的状态下，使载气和稀释气体流通而求取作为(m3－(m1+m2))的计算值的偏差值的步骤中的测定值m1、m2和m3是n个周期的流量的积分值除以周期T而得到的值。