[发明专利]一种红外增强的宽带光热转换薄膜器件

权利要求书

1.一种红外增强的宽带光热转换薄膜器件，其特征在于，由金属和非金属薄膜组成的8层膜结构，其结构为：

第一层为防反射的保护层，采用透明介质膜；

第二层为光吸收层，采用过渡金属膜；

第三层为光学振幅和位相匹配层，采用透明介质膜；

第四层为光吸收层，采用过渡金属膜；

第五层为光学振幅和位相匹配层，采用透明介质膜；

第六层为光吸收层，采用过渡金属膜；

第七层为光学振幅和位相匹配层，采用透明介质膜；

第八层为高反射层，采用完全非透明的高反射金属膜；

第一层到第八层厚度的选择依据各膜层的光学常数，在250－2000nm波长区，满足的高吸收条件为：

(R+T)≤5％,A_X≥95％,R+T+A_X＝1；

所述第一层、第三层、第五层、第七层的材料选用SiO₂、玻璃、CaF₂、KCl或MgF₂透明介质材料；

所述第二层、第四层、第六层过渡金属膜材料选用Ti、W、Cr；

所述第八层采用Ag、Al、Cu、Au；

所述第八层厚度100-150nm，第七层厚度40-60nm，第六层厚度10-20nm，第五层厚度40-80nm，第四层厚度5-10nm，第三层厚度40-80nm，第二层厚度2-5nm，第一层厚度60-80nm。