[发明专利]干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法

权利要求书

1.干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，其特征在于步骤如下：

(1)根据待测反射镜的检测光路，计算柔性标定靶带的样式，并制作柔性标定靶带；

(2)调整待测反射镜的检测光路，即调整激光干涉仪、补偿器、待测反射镜的相对位置，直至激光干涉仪产生全孔径的干涉条纹，然后在待测反射镜镜面上沿反射镜镜面的直径方向粘贴柔性标定靶带；

(3)根据待测反射镜镜面方程及柔性标定靶带的圆孔阵列的相临圆孔间距，计算柔性标定靶带圆孔阵列在镜面坐标系上的投影位置P_s(r_i)；

(4)获取待测反射镜上的柔性标定靶带圆孔阵列成像到激光干涉仪CCD坐标系上的位置P_c(r_i)；

(5)精调光路，即将激光干涉仪产生的干涉条纹调至3～5根条纹，对待测反射镜进行面形检测，获得待测反射镜的初始的面形数据W(x,y)，即矫正前的面形数据；

(6)根据步骤(3)的P_s(r_i)和步骤(4)的P_c(r_i)，获取待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程；

(7)根据步骤(6)待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程，对步骤(5)初始的面形数据W(x,y)进行矫正，获得矫正后的面形数据A(x',y')。

2.根据权利要求1所述的干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，其特征在于：所述待测反射镜的检测光路，依次包括：激光干涉仪、补偿器、待测反射镜，激光干涉仪产生的球面波或平面波经过补偿器的折射，使球面波或平面波的每条光线都垂直入射到待测反射镜的镜面。

3.根据权利要求1所述的干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，其特征在于：根据待测反射镜的检测光路，计算柔性标定靶带的样式，并制作柔性标定靶带，具体如下：根据选用激光干涉仪的像素和待测反射镜的口径，制造柔性标定靶带，即柔性标定靶带由纸带或其他不透明的柔性材料制成，靶带上有圆孔阵列，圆孔阵列中相临两个孔间距为激光干涉仪的像素分辨率的20-50倍，每个圆孔直径为激光干涉仪的像素分辨率的2-3倍，靶带宽度为每个圆孔直径的4～6倍，靶带长度大于待测反射镜镜面弧长的一半，根据靶带的材料、圆孔阵列中相临两个孔间距、每个圆孔直径、靶带宽度、靶带长度，打印柔性标定靶带。

4.根据权利要求1所述的干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，其特征在于：激光干涉仪CCD坐标系为O-XYZ，原点O位于CCD平面上，Z轴指向反射镜光轴正方向，X轴、Y轴符合右手定则；待测反射镜镜面坐标系为O’-X’Y’Z’，原点O’位于待测反射镜顶点位置，Z’指向待测反射镜光轴方向，X’轴、Y’轴符合右手定则。