[发明专利]有机材料蒸镀设备和方法

权利要求书

1.一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置(10)、及设于加热装置(10)上的蒸发装置(20)；

所述蒸发装置(20)包括蒸发器皿(21)、及导热球(22)；所述蒸发器皿(21)用于承载有机材料(50)，所述导热球(22)用于分散在有机材料(50)中使有机材料(50)受热均匀；

所述导热球(22)的粒径为1μm-100μm；

所述导热球(22)为核壳结构，包括内核体(221)、及包覆内核体(221)的导热层(222)；

所述导热层(222)为碳纳米管层、石墨烯层、或陶瓷层；

所述内核体(221)为聚合物微球、或SiO₂微球；

所述蒸发器皿(21)为钨舟。

2.一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置(10)、及设于加热装置(10)上的蒸发装置(20)；

所述蒸发装置(20)包括蒸发器皿(21)、及导热球(22)；所述蒸发器皿(21)用于承载有机材料(50)，所述导热球(22)用于分散在有机材料(50)中使有机材料(50)受热均匀；

所述导热球(22)的粒径为1μm-100μm；

所述导热球(22)为核壳结构，包括内核体(221)、及包覆内核体(221)的导热层(222)；

所述导热层(222)为金属层，所述内核体(221)为SiO₂微球，所述导热球(22)由熔融的金属材料均匀地包覆SiO₂微球而制得；

所述蒸发器皿(21)为钨舟。

3.一种有机材料蒸镀方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供有机材料蒸镀设备、及有机材料(50)；所述有机材料蒸镀设备包括：加热装置(10)、及设于加热装置(10)上的蒸发装置(20)；所述蒸发装置(20)包括蒸发器皿(21)、及导热球(22)；将有机材料(50)放置于蒸发器皿(21)中，并向有机材料(50)中掺杂导热球(22)，使得所述导热球(22)均匀分散于有机材料(50)中；

步骤2、提供基板(40)，控制加热装置(10)产生热能，控制蒸发装置(20)通过所述加热装置(10)产生的热能蒸发有机材料(50)，使所述有机材料(50)在基板(40)上形成有机材料膜层；

所述导热球(22)的粒径为1μm-100μm；

所述导热球(22)为核壳结构，包括内核体(221)、及包覆内核体(221)的导热层(222)；

所述导热层(222)为碳纳米管层、石墨烯层、或陶瓷层，所述内核体(221)为聚合物微球、或SiO₂微球；或者，

所述导热层(222)为金属层，所述内核体(221)为SiO₂微球，所述导热球(22)由熔融的金属材料均匀地包覆SiO₂微球而制得。

4.如权利要求3所述的有机材料蒸镀方法，其特征在于，所述步骤2中，所述导热球(22)的熔点高于所述加热装置(10)的加热温度。

5.如权利要求3所述的有机材料蒸镀方法，其特征在于，所述步骤2还包括提供掩膜板(30)，有机材料(50)穿过掩膜板(30)在基板(40)上形成有机材料膜层。