[发明专利]一种金刚石-铜复合材料及制备方法有效
申请号: | 201611110689.9 | 申请日: | 2016-12-06 |
公开(公告)号: | CN106854750B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 徐良;刘一波;徐强;杨志威;葛科;阎磊;曹彩婷 | 申请(专利权)人: | 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司;安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/24;C23C28/02;B22F1/02;C22C26/00;C22C9/00;C22C1/04;C22C1/10 |
代理公司: | 11387 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘春成;荣红颖 |
地址: | 102200*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 铜复合材料 表面镀覆 金属基复合材料 真空热压烧结 电子封装 界面热阻 烧结处理 复合材料 基体层 热导率 镀覆 可用 蒸镀 制备 模具 装入 蒸发 研究 | ||
1.一种金刚石-铜复合材料,其特征在于,所述复合材料由金刚石、镀覆于所述金刚石外表面的Cr层以及镀覆于所述Cr层外表面的铜基体层组成;所述Cr层的厚度为0.2-1μm;所述金刚石的粒度为75-212μm;
所述金刚石-铜复合材料的制备方法包括如下步骤:
步骤一,在金刚石的表面镀覆Cr层,得到镀Cr后的金刚石;
步骤二,在所述镀Cr后的金刚石的表面镀覆Cu基体层,得到镀Cu后的金刚石;
步骤三,将所述镀Cu后的金刚石装入模具进行烧结处理,制得所述金刚石-铜复合材料;
其中,
步骤一中,采用真空微蒸发蒸镀的方法进行镀覆Cr层,具体工艺条件如下:温度为750-850℃,真空度为10-2-10-4Pa,镀覆 时间为155-180min,金属蒸汽浓度为38%-50%,在镀覆Cr层过程中使所述金刚石翻滚;真空微蒸发蒸镀过程中,所述金刚石在筛网内缓慢转动,所述筛网转动速度为3-5转/min;
步骤二中,采用滚镀的方法进行镀覆Cu层;
步骤三中,所述烧结处理采用真空热压烧结法,所述烧结处理的压力为30-50MPa,温度为950-1050℃,升温速率为12-22℃/min,保温时间为8-15min,真空度为10-1~10-3Pa。
2.根据权利要求1所述金刚石-铜复合材料,其特征在于,所述Cr层的厚度为0.4-0.6μm。
3.根据权利要求1或2所述金刚石-铜复合材料,其特征在于,所述金刚石的体积百分数为40-70%,所述铜的体积百分数为60-30%。
4.根据权利要求1所述金刚石-铜复合材料,其特征在于,所述金刚石为粒径分别为212μm和75μm的金刚石的混合物,其中,212μm粒径的金刚石用量体积百分比为60-80%,75μm粒径的金刚石用量体积百分比为40-20%。
5.根据权利要求1所述金刚石-铜复合材料,其特征在于,所述Cu基体层的厚度为7-20μm。
6.根据权利要求1所述的金刚石-铜复合材料,其特征在于,步骤三中,真空度为10-2~10-3Pa。
7.根据权利要求1或6所述的金刚石-铜复合材料,其特征在于,步骤二中,所述金刚石的增重为100%-170%。
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