[发明专利]一种利用金属辅助刻蚀具有木材反向结构硅表面的方法在审
申请号: | 201611111645.8 | 申请日: | 2016-12-06 |
公开(公告)号: | CN106498502A | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 王天驰;冯旭;陈凯 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B33/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人: | 刘海霞,朱显国 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 金属 辅助 刻蚀 具有 木材 反向 结构 表面 方法 | ||
【权利要求书】:
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