[发明专利]一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统有效
| 申请号： | 201611111963.4 | 申请日： | 2016-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN107039370B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 周俊杰;屈扬;苑士华;胡纪滨;吴维 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/427 |
| 代理公司： | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人： | 侯玉山 |
| 地址： | 100001 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气泡 驱动 微流道 散热 系统 | ||
1.一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统,其特征在于：包括芯片基体(1)，芯片基体(1)加工有微流道循环散热管路系统；所述微流道循环散热管路系统，包括位于芯片基体(1)上层的散热总成(2)、均位于芯片基体(1)内层的吸热总成(3)和微气泡泵总成(4)、以及将散热总成(2)、吸热总成(3)、微气泡泵总成(4)三者串联构成循环的干路管(5)；
所述微气泡泵总成(4)包括相变腔(6)、单向分流腔(7)、位于单向分流腔(7)上游的A缓冲腔(8)、位于单向分流腔(7)下游的B缓冲腔(9)；吸热总成(3)以及相变腔(6)均位于芯片基体(1)产热区域；相变腔(6)内填充有相变液(10)；相变腔(6)通过驱动管路(18)与单向分流腔(7)的中部导通；所述驱动管路(18)的容量大于相变液(10)受热汽化后的体积膨胀量；所述A缓冲腔(8)和B缓冲腔(9)的缓冲量大于相变液(10)受热汽化后的体积膨胀量；吸热总成(3)、散热总成(2)、单向分流腔(7)内均填充有冷却液(11)；在驱动管路(18)内，冷却液(11)与相变液(10)两者不互溶或者通过与两者不互溶的隔离液泡(12)隔离。
2.根据权利要求1所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的A缓冲腔(8)和B缓冲腔(9)均为密封腔体，内部均填充有不溶于冷却液的缓冲气体(19)。
3.根据权利要求1所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：A缓冲腔(8)和B缓冲腔(9)均由多个毛细管流道(13)并联或者串联组成；毛细管流道(13)的末端与外界连通。
4.根据权利要求1至权利要求3任意一项所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的单向分流腔(7)由两个方向相同的锥管(14)在分流腔管(16)的两端串接构成；驱动管路(18)的末端在两个锥管(14)之间与干路管(5)连通。
5.根据权利要求1至权利要求3任意一项所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的单向分流腔(7)由两个方向相同的单向阀(15)在分流腔管(16)的两端串接构成；驱动管路(18)的末端在两个单向阀(15)之间与干路管(5)连通。
6.根据权利要求1至权利要求3任意一项所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的相变腔(6)外部安装有周期性主动加热装置(17)。
7.根据权利要求4所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的相变腔(6)外部安装有周期性主动加热装置(17)。
8.根据权利要求5所述的一种由气泡微泵驱动的微流道散热系统，其特征在于：所述的相变腔(6)外部安装有周期性主动加热装置(17)。
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