[发明专利]具有附加层和合金形成的激光再封装

权利要求书

1.用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接的并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，

-在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，

-在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，

-在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，

-在第四方法步骤中(104)中，为了与所述衬底(3)或所述罩(7)的在第三方法步骤(103)中转变到液态聚集态的材料区域(13)混合，在所述进入开口(11)区域中在所述衬底(3)或所述罩(7)的表面上沉积或者生长一个层。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述层在所述衬底(3)或所述罩(7)的背离所述第一空穴(5)的表面上沉积或者生长。

3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第四方法步骤(104)在时间上在所述第一方法步骤(101)之前实施。

4.微机械构件(1)，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述衬底(3)或所述罩(7)包括封闭的进入开口(11)，其特征在于，

所述微机械构件(1)包括在所述进入开口(11)区域中在所述衬底(3)或所述罩(7)的表面上沉积或者生长并且至少部分地与所述衬底(3)或者所述罩(7)的在封闭所述进入开口(11)过程中转变到液态聚集态的材料区域(13)混合的层。

5.根据权利要求4所述的微机械构件，其中，所述层布置在所述衬底(3)或所述罩(7)的背离所述第一空穴(5)的表面上。

6.根据权利要求4或5所述的微机械构件，其中，所述层的熔化温度低于所述材料区域(13)的熔化温度和/或低于所述衬底(3)的熔化温度和/或低于所述罩(7)的熔化温度。

7.根据权利要求4、5或6所述的微机械构件，其中，至少部分地包括所述层和至少部分地包括所述材料区域(13)的混合材料的熔化温度低于所述层的熔化温度和/或低于所述材料区域(13)的熔化温度和/或低于所述衬底(3)的熔化温度和/或低于所述罩(7)的熔化温度。

8.根据权利要求4、5、6或7所述的微机械构件，其中，所述层的膨胀系数小于所述材料区域(13)的膨胀系数和/或小于所述衬底(3)的膨胀系数和/或小于所述罩(7)的膨胀系数。

9.根据权利要求4、5、6、7或8所述的微机械构件(1)，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)共同包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物。

10.根据权利要求5、6、7、8或9所述的微机械构件(1)，其中，所述第一压力小于所述第二压力，其中，在所述第一空穴(5)中布置有用于测量转速的第一传感器单元，并且在所述第二空穴中布置有用于测量加速度的第二传感器单元。