[发明专利]一种晶体硅太阳能电池用缺陷钻孔用工具、装置及钻孔方法

说明书

技术领域

本发明涉及缺陷钻孔用工具，尤其涉及被设置于加工装置的头部的夹头保持并进行旋转，用于对在晶体硅太阳能电池上产生的局部缺陷进行绝缘分离的缺陷钻孔用工具。

背景技术

随着能源危机的加重，太阳能作为无污染、取之不尽、用之不竭的绿色能源，已得到了广泛的应用；在使用过程中，太阳能电池片需要通过连接模块才能实现与用电器件的相连；晶体硅太阳能电池有许多方法制造，在通常制造方法中，在玻璃等基板上形成由Mo(钼)膜构成的下部电极膜，之后，下部电极膜被分割为长条状。接着，在下部电极膜上形成包含铜铟镓硒膜等黄铜矿结构化合物半导体膜的化合物半导体膜。接着，还将这些半导体膜的一部分呈长条状去除并分割为长条状，并且形成上部电极膜，使得覆盖这些半导体膜。并且最后，上部电极膜的一部分呈长条状被剥离并被分割为长条状。在这种晶体硅太阳能电池的制造过程中，由于会在薄膜形成时混入颗粒、或者产生针孔，由此有时会产生上部电极和下部电极短路等局部缺陷。因此，为了钻孔这种晶体硅太阳能电池的局部缺陷，提出了通过激光从其他部分对缺陷部分进行绝缘分离的方法。 目前采用通过激光钻孔晶体硅太阳能电池的局部缺陷的情况下，有时会在激光加工部残留熔融残渣。该熔融残渣有时会成为使上部电极和下部电极短路的原因，可能会产生新的缺陷。

因此，考虑用由金刚石等硬质材料形成的加工工具去除局部缺陷部分。但是，在使用这种以往的加工工具剥离薄膜时，在比较广的区域范围内剥离膜。并且，作为衬底的Mo膜会在剥离薄膜后的部分露出。于是，在从外观观察晶体硅太阳能电池的情况下，Mo膜的露出部分反射光而发亮，从而损害功能。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，不损坏功能钻孔晶体硅太阳能电池的局部缺陷。

本发明的目的是这样实现的：一种晶体硅太阳能电池的缺陷钻孔用工具，其被设置于加工装置的头部的夹头保持并进行旋转，用于对晶体硅太阳能电池上产生的局部缺陷进行绝缘分离，其中，该缺陷钻孔用工具具有：柄部，其形成在一端侧，被所述夹头保持；以及刃尖部，其形成在另一端侧，在前端具有加工用的刃，所述刃尖部的刃以预定宽度形成在离开旋转中心的位置处，所述缺陷修复用工具旋转，环状地剥离所述局部缺陷周围的材料。

进一步地，所述刃尖部的刃与旋转中心线正交，所述刃尖部的前端的刃以外的部分倾斜，使得随着远离所述刃而接近所述柄部侧。

进一步地，所述刃尖部的刃的宽度为0.1mm以下。

进一步地，工作台，其载置作为缺陷钻孔对象的晶体硅太阳能电池；头，其具有权利要求1至3中的任意一项所述的缺陷钻孔用工具，该头能够在上下方向上移动，并且对所述缺陷钻孔用工具进行旋转驱动；以及移动机构，其用于使所述工作台和所述头在水平面内相对移动。

进一步地，所述头具有：夹头，其保持所述缺陷钻孔用工具；电动机，其用于使所述夹头旋转；接头，其将所述夹头和所述电动机的旋转轴相互连接成在上下方向移动自如且不能旋转；以及按压机构，其用于以预定的负荷压力将所述缺陷钻孔用工具按压至所述晶体硅太阳能电池的表面。

进一步地，所述头还具有：保持架，其将所述夹头支撑为旋转自如；以及施力部件，其对所述夹头和所述保持架朝上方施力，用于抵消所述夹头和所述保持架的自重。

附图说明

为了使本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，提供附图，其中：图1是采用了本发明的一个实施方式的缺陷钻孔用装置的外观立体图。

图2是所述装置的钻孔部件的侧视图。

图3是本发明的一个实施方式的缺陷钻孔用工具的主视图、侧视图和仰视图。

图4是图3的A部放大图。

具体实施方式

图1示出采用了本发明的一个实施方式的集成型晶体硅太阳能电池的缺陷钻孔用装置的外观立体图。

该装置具有载置有太阳能电池基板W的工作台1、和分别具有缺陷钻孔用工具2的多个钻孔部件3，该装置还分别具有两个摄像机4和监视器5。

工作台1在水平面内能够在图1的Y方向上移动。此外，工作台1在水平面内能够旋转为任意的角度。另外，在图1中示出钻孔部件3的概略外观(3个头中的两个省略了前端部分)，与实际形状不同。钻孔部件3的具体情况将后述。