[发明专利]3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法

权利要求书

1.一种3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，所述3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法包括如下步骤：

将样品放入第一发烟硝酸中加热至去掉外壳；

将去掉外壳的样品放到加热台上进行碳化，以形成碳化物；

将碳化后的样品放入第二发烟硝酸中，所述第二发烟硝酸与所述碳化物反应以对其进行去胶。

2.如权利要求1所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，将样品放入第一发烟硝酸中加热至去掉外壳包括：在所述第一发烟硝酸中放入样品后，加热所述第一发烟硝酸至160℃～180℃，其中，加热时间为10分钟～15分钟。

3.如权利要求1所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，在将去掉外壳的样品放到加热台上前，所述3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法还包括：清洗并且吹干所述去掉外壳的样品。

4.如权利要求3所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，使用去离子水清洗所述去掉外壳的样品，并且使用氮气吹干使用去离子水清洗过的所述去掉外壳的样品。

5.如权利要求1所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，在将去掉外壳的样品放到加热台上进行碳化中，所述加热台加热至450℃～550℃，加热时间为50分钟～70分钟。

6.如权利要求1所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，将碳化后的样品放入第二发烟硝酸中以对其进行去胶之前，所述3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法还包括：将所述第二发烟硝酸加热至150℃～200℃，并持续加热2分钟～3分钟。

7.如权利要求6所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，将碳化后的样品放入第二发烟硝酸中以对其进行去胶包括：

当碳化后的样品在第二发烟硝酸中上下翻腾时，则将所述第二发烟硝酸的温度调低；

当碳化后的样品中有薄片脱开时，则将所述第二发烟硝酸的温度再次调低。

8.如权利要求7所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，当碳化后的样品在第二发烟硝酸中上下翻腾时，则将所述第二发烟硝酸的温度调低至90℃～110℃。

9.如权利要求7所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，当碳化后的样品中有薄片脱开时，则将所述第二发烟硝酸的温度调低至10℃～30℃。

10.如权利要求7所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，所述3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法还包括：将所述第二发烟硝酸的温度调低至10℃～30℃后，10分钟～15分钟后取出薄片。

11.如权利要求1所述的3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法，其特征在于，所述第一发烟硝酸和所述第二发烟硝酸均是含硝酸90％～97.5％的液体。