[发明专利]基板握持装置

权利要求书

1.一种基板握持装置，其特征在于，具有：

基台；

支承在所述基台上且能够在上升位置与下降位置之间相对于该基台沿上下方向相对移动的多个支柱；

分别配置在所述支柱上且随着所述支柱的上下方向的移动而移动的基板保持部；和

用于在所述支柱位于所述上升位置时对基板的周缘部进行引导的基板引导部件，

所述基板保持部在所述支柱移动至所述下降位置时握持所述基板的周缘部，在所述支柱移动至所述上升位置时释放所述基板的周缘部，

在所述支柱位于所述下降位置时，所述基板引导部件位于比所述基板保持部低的位置。

2.如权利要求1所述的基板握持装置，其特征在于，

所述多个支柱分别具有相对移动机构，

所述相对移动机构具有：

第1杆；

相对于所述第1杆能够相对地上下移动地配置的第2杆；

配置在所述基台与所述第1杆之间且将所述第1杆向下弹压的初级弹簧；

配置在所述第1杆与所述第2杆之间且将所述第2杆向下弹压的二级弹簧；

固定在所述第1杆上且以使所述基板保持部旋转自如的方式支承所述基板保持部的支承轴；和

将所述第2杆和所述基板保持部连结起来的连结机构。

3.如权利要求2所述的基板握持装置，其特征在于，

所述初级弹簧的弹簧常数小于所述二级弹簧的弹簧常数。

4.如权利要求2所述的基板握持装置，其特征在于，

所述初级弹簧的弹簧常数大于所述二级弹簧的弹簧常数。

5.如权利要求2所述的基板握持装置，其特征在于，

所述基板引导部件固定在所述第2杆上。

6.如权利要求1所述的基板握持装置，其特征在于，

所述基板保持部绕所述基台的中心轴线等间隔地配置，所述基板保持部通过握持所述基板的周缘部来进行所述基板的定心。

7.如权利要求1所述的基板握持装置，其特征在于，

所述基板保持部具有握持所述基板的周缘部的装夹部、和供所述基板的周缘部载置的倾斜面，所述装夹部一体地形成在所述倾斜面上。

8.一种基板握持装置，其特征在于，具有：

基台；

支承在所述基台上且相对于该基台能够沿上下方向相对移动的多个支柱；

用于举升所述支柱的升降机构；

分别配置在所述支柱上的基板保持部；和

用于对基板的周缘部进行引导的基板引导部件，

所述支柱具有使所述基板保持部及所述基板引导部件彼此相对移动的相对移动机构，

所述相对移动机构在所述支柱上升时使所述基板保持部向该基板保持部释放所述基板的周缘部的方向移动，并且使所述基板保持部的上端移动至比所述基板引导部件的上端低的位置，

并且所述相对移动机构在所述支柱下降时使所述基板保持部向该基板保持部握持所述基板的周缘部的方向移动，并且使所述基板保持部的上端移动至比所述基板引导部件的上端高的位置。

9.如权利要求8所述的基板握持装置，其特征在于，

所述基板保持部具有握持所述基板的周缘部的装夹部、和供所述基板的周缘部载置的倾斜面，所述装夹部一体地形成在所述倾斜面上。

10.如权利要求9所述的基板握持装置，其特征在于，

所述基板引导部件具有用于对所述基板的周缘部进行引导的锥面，

当所述支柱位于下降位置时，所述锥面位于所述基板保持部的倾斜面的外侧，当所述支柱位于上升位置时，所述锥面位于所述基板保持部的倾斜面的正上方。