[发明专利]一种具有高线性度的GaN鳍式高电子迁移率晶体管及其制造方法在审
申请号: | 201611122851.9 | 申请日: | 2016-12-08 |
公开(公告)号: | CN106684141A | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 张凯;孔月婵;周建军;陈堂胜 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/336 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 吴树山 |
地址: | 210016 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 线性 gan 鳍式高 电子 迁移率 晶体管 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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