[发明专利]一种离子注入设备及系统有效
| 申请号： | 201611124178.2 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106531605B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 严鹏;顾孛;刘明 | 申请（专利权）人： | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 史明罡 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁分选 离子束 离子注入设备 离子源腔室 隔离腔室 目标离子 杂质离子 加速管 分选 离子注入工艺 半导体器件 轰击 吸收 损害 出口 生产 | ||
【权利要求书】：
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