[发明专利]流体可渗透的阳极氧化膜及用阳极氧化膜的流体可渗透体

权利要求书

1.一种流体可渗透体，其包括：

具有让流体穿过的多个通孔(410)的流体穿过构件(400)；以及

与流体穿过构件(400)联接的流体可渗透的阳极氧化膜(200)，

其中，流体可渗透的阳极氧化膜(200)包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙(310)，以及具有比所述孔隙(310)的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜(200)的多个渗透孔(350)，

其中，在其上形成有所述流体可渗透的阳极氧化膜(200)的所述流体穿过构件(400)的表面上的通孔(410)的内部宽度大于渗透孔(350)的内部宽度，并且所述通孔(410)与多个渗透孔(350)连通。

2.根据权利要求1所述的流体可渗透体，其中，流体穿过构件(400)包括彼此联接的至少两个流体穿过构件，并且流体可渗透的阳极氧化膜(200)布置在两个流体穿过构件之间并且与两个流体穿过构件中的至少一个的表面联接。

3.根据权利要求1所述的流体可渗透体，其中，流体穿过构件(400)包括具有形成在流体穿过构件(400)的上表面上的停靠凹槽(430)的停靠部分，并且流体可渗透的阳极氧化膜(200)停靠在所述停靠部分上。

4.根据权利要求1所述的流体可渗透体，其中，第一金属部分(510)形成在流体可渗透的阳极氧化膜(200)的外围部分中，并且与流体穿过构件(400)联接。

5.根据权利要求1所述的流体可渗透体，其中，流体可渗透的阳极氧化膜(200)通过阳极氧化基础金属并且然后去除所述基础金属而形成。

6.根据权利要求1所述的流体可渗透体，进一步包括：

形成在流体可渗透的阳极氧化膜(200)的上表面或下表面上的金属部分。

7.根据权利要求1所述的流体可渗透体，其中，流体穿过构件(400)为安装在真空室内的扩散器。

8.一种流体可渗透体，其包括：

具有让流体穿过的多个通孔(410)的流体穿过构件(400)；以及

与所述流体穿过构件(400)的至少一个表面一体形成的流体可渗透的阳极氧化膜(200)，所述流体可渗透的阳极氧化膜(200)包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙(310)，以及具有比所述孔隙(310)的内部宽度大的内部宽度并延伸通过所述流体可渗透的阳极氧化膜(200)的多个渗透孔(350)，

其中，在其上形成有所述流体可渗透的阳极氧化膜(200)的表面上的通孔(410)的内部宽度大于所述渗透孔(350)的内部宽度，并且所述多个渗透孔(350)在所述通孔(410)的内部宽度的范围内与通孔(410)连通。

9.根据权利要求8所述的流体可渗透体，其中，通孔(410)包括第一通孔(411)和具有比第一通孔(411)的内部宽度小的内部宽度的第二通孔(416)，并且渗透孔(350)定位在第二通孔(416)下方。

10.根据权利要求8所述的流体可渗透体，其中，通孔(410)由倾斜地形成为使得其内部宽度朝向渗透孔(350)变小的内壁限定。

11.根据权利要求8所述的流体可渗透体，其中，流体可渗透的阳极氧化膜(200)包括第一阳极氧化膜(200a)和第二阳极氧化膜(200b)，并且所述流体穿过构件(400)定位在第一阳极氧化膜(200a)和第二阳极氧化膜(200b)之间。