[发明专利]液体材料气化装置

说明书

本发明提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。

技术领域

本发明涉及液体材料气化装置。

背景技术

如专利文献1所示，以往的液体材料气化装置为如下的装置：在具备液体流量控制功能的控制阀内的气液混合部中，将液体材料和载气在进行流量控制的同时进行混合，并把此时的气液混合体从形成在流量控制部附近的喷嘴部释放，将液体材料减压气化。

专利文献1：日本专利公开公报特开2001-156055号

而且，在上述方式的液体材料气化装置中，由于难以生成大流量的材料气体，因此可以考虑特别是在大流量用途时，与气化器一同使用。

可是，由于流道在所述气液混合部的喷嘴部正后方扩展，因此液体材料的流速在进入气化器之前降低，造成液体材料滞留。此外，所述液体材料气化装置与气化器需要通过焊接或管接头等而连接，因此难以在所述连接部设置用于供给仅使液体材料气化的热能的结构。

如此，由于流速在喷嘴部正后方降低并且难以赋予热能，所以液体材料在进入气化器之前，会在所述连接部发生滞留。由此，不能稳定进行朝向气化器的液体输送和气化器中的气化，其结果，存在难以稳定生成材料气体的问题。

发明内容

因此，本发明是为了解决上述问题而完成的，其主要目的是提供一种液体材料气化装置，尽可能地消除气液混合部和气化部之间产生的积液，使朝向气化部的液体输送和气化部中的气化稳定进行。

即，本发明的液体材料气化装置包括：气液混合部，将液体材料和气体混合而生成气液混合体；以及气化部，加热所述气液混合体，使所述液体材料气化，所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管，所述气化部具有加热用配管，所述加热用配管形成有加热所述气液混合体的加热流道，所述气液混合体导出管的具有导出口的前端部分在所述加热用配管的内部配置成与所述加热用配管隔开间隙而不接触，所述气化部具有第一连接部，所述第一连接部与所述加热流道连通并向加热模块的外部伸出，所述气液混合体导出管具有第二连接部，所述第二连接部设置在所述气液混合体导出管的与所述导出口相反侧的外周部，并与所述第一连接部连接，在所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内的状态下，所述第一连接部和所述第二连接部彼此连接。

按照所述液体材料气化装置，由于气液混合体导出管的导出口配置在加热流道内，所以能够把气液混合部中生成的气液混合体直接供给到加热流道，可以尽可能地消除气液混合部和气化部之间产生的积液。由此，能够稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化，能稳定地生成材料气体。

此外，按照上述结构，由于向加热模块的外部伸出的第一连接部与设置在气液混合体导出管的外周部的第二连接部连接，因此能够减小从加热模块朝向气液混合部的热传递，可以抑制气液混合部中的液体材料的气化。另外，如果液体材料在气化混合部中发生了气化，则朝向气化部的液体材料的供给量会产生变动，从而会妨害气化部中的稳定的气化。

优选的是，所述加热用配管内置于加热模块，所述加热模块内置有加热器。

按照所述结构，气液混合体导出管的导出口配置在加热模块的内部，能可靠地对从气液混合体导出管的导出口释放的气液混合体进行加热。

优选的是，所述气液混合体导出管的内部流道整体呈等断面形状。