[发明专利]用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置

权利要求书

1.一种沉积有机材料的方法，其包含：

将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中；

将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；

所述喷出之后，沉积所述有机材料于衬底上以形成有机发射或检测区域的至少一部分，

其中，所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，

其中A1为约0.6mm²到1.2mm²，且A1/A2为约16或16以上，并且

其中所述喷嘴的所述部分具有小于5mm的轴长L2。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述有机材料在不使用阴影掩模的情况下沉积。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述蒸气的激波波前在穿过所述喷嘴的所述部分的所述蒸气的下游形成并在所述出口之前实质上消散。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述出口具有半径R1且所述喷嘴的所述部分具有半径R2，且L1/R2在约3到200的范围内。

5.根据权利要求4所述的方法，其中L1/R2在约5到20的范围内。

6.根据权利要求4所述的方法，其中R1/R2在约4到100的范围内。

7.根据权利要求1所述的方法，其中A1/A2在约16到200的范围内。

8.根据权利要求1所述的方法，其中A1/A2为约16。

9.根据权利要求1所述的方法，其中A2为约0.04mm²到0.1mm²。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷嘴包括在具有多个类似喷嘴的喷嘴组中，所述多个喷嘴各经配置以沉积有机发射材料。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述沉积有机材料的宽度实质上等于所述出口的宽度。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述蒸气在所述喷嘴的所述部分下游和所述出口的上游形成为准直射束。

13.一种有机材料沉积装置，其包含：

有机材料供应；

载气供应；

与所述有机材料供应和所述载气供应流体连通的喷嘴，所述喷嘴包括：

入口；

出口，位于所述喷嘴的远端，包括横截面积A1和直径D1；以及

在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的部分，所述喷嘴的所述部分包括横截面积A2和直径D2，

其中A2小于A1，

L1/D2大于2，

A1为约0.6mm²到1.2mm²，

所述装置经配置以使所述载气与所述有机材料的蒸气混合物穿过所述喷嘴，且所述有机材料在离开所述出口之后沉积于衬底上，且

所述喷嘴的所述部分具有小于5mm的轴长L2。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述装置经配置以使得在使用中所述蒸气的激波波前在所述蒸气穿过所述喷嘴的所述部分后形成并在所述出口之前实质上消散。

15.根据权利要求13所述的装置，其中L1/D2在约2到20的范围内。

16.根据权利要求13所述的装置，其中D1/D2在约4到100的范围内。

17.根据权利要求13所述的装置，其中A1/A2在约16到200的范围内。