[发明专利]粉末冶金方法及靶材的形成方法

权利要求书

1.一种粉末冶金方法，其特征在于，包括：

提供粉体；

对所述粉体进行热等静压处理，形成坯料；

对所述坯料进行退火处理，形成成品。

2.如权利要求1所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述粉体的材料为钽。

3.如权利要求2所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述热等静压处理的步骤包括：对所述粉体进行加热加压处理，形成初始坯料；对所述初始坯料进行冷却处理。

4.如权利要求3所述的粉末冶金方法，其特征在于，通过热等静压炉对所述粉体进行加热加压处理；所述加热加压处理的步骤包括：将所述粉体放置于所述热等静压炉中；使所述热等静压炉升温至加热温度；通过热等静压炉对所述粉体施加压力；使所述热等静压炉升温至加热温度之后，且对所述粉体施加压力之后，对所述粉体进行保温处理。

5.如权利要求4所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述热等静压处理的工艺参数包括：加热温度为1400℃～1500℃，对所述粉体施加的压力为150MPa～200MPa；所述保温处理的时间为3小时～6小时。

6.如权利要求3所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述冷却处理的步骤包括：对所述初始坯料进行缓冷处理，使所述初始坯料降温至缓冷温度；所述缓冷处理之后，关闭所述热等静压炉。

7.如权利要求6所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述缓冷温度为550℃～650℃；所述缓冷处理的时间为4小时～6小时。

8.如权利要求1所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述退火处理的步骤包括：对所述坯料加热至退火温度；对所述坯料加热至退火温度之后，进行退火保温处理；所述退火保温处理之后，对所述坯料进行退火冷却处理。

9.如权利要求8所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述退火处理的工艺参数包括：退火温度为1800℃～2200℃；退火时间为1.8小时～2.2小时。

10.如权利要求1所述的粉末冶金方法，其特征在于，进行热等静压处理之前，还包括：对所述粉体进行密封处理。

11.如权利要求10所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述密封处理的步骤包括：提供包套；将所述粉体放入所述包套内，形成包套结构；对所述包套结构进行真空处理；所述真空处理之后，密封所述包套。

12.如权利要求11所述的粉末冶金方法，其特征在于，对所述粉体进行真空处理的步骤包括：提供加热炉；将所述包套结构放入所述加热炉内；将所述包套结构放入所述加热炉内之后，对所述包套结构抽真空；对所述包套结构抽真空之后，使所述加热炉升温至真空处理温度；使所述加热炉升温至真空处理温度之后，进行真空保温处理；真空保温处理之后，取出所述包套结构。

13.如权利要求12所述的粉末冶金方法，其特征在于，对所述包套结构抽真空之后，所述包套内的真空度大于2E-3Pa。

14.如权利要求12所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述真空处理温度为250℃～500℃；所述真空保温处理的时间为3小时～4小时。

15.如权利要求11所述的粉末冶金方法，其特征在于，所述退火处理之前，所述热等静压处理之后，还包括：去除所述包套。

16.一种靶材的形成方法，其特征在于，包括：

提供粉体；

对所述粉体进行热等静压处理，形成坯料；

对所述坯料进行退火处理，形成成品；

对所述成品进行机械加工，形成靶材。