[发明专利]锻造方法及靶材的形成方法在审
| 申请号： | 201611129168.8 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN108607943A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21J5/00 | 分类号： | B21J5/00;B21K29/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铸锭 锻造 轴向 晶粒 靶材 细化 靶材表面 方向垂直 锻锭 受力 柱体 垂直 | ||
1.一种锻造方法，其特征在于，包括：
提供铸锭，所述铸锭为柱体；
对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
2.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造的步骤包括：沿所述铸锭轴向对所述铸锭施加压力，使所述铸锭的长度减小，所述铸锭的直径增加，形成初始锻锭。
3.如权利要求2所述的锻造方法，其特征在于，所述第二锻造的步骤包括：沿第一方向对所述初始锻锭施加压力，形成径向锻锭，所述第一方向垂于所述初始锻锭的轴向；沿第二方向对所述径向锻锭施加压力，形成锻锭，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第二方向垂于所述初始锻锭的轴向。
4.如权利要求3所述的锻造方法，其特征在于，所述锻锭的横截面为正方形。
5.如权利要求3所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造使所述铸锭的轴向的减小量大于45％，所述第二锻造使所述初始锻锭的轴向增加量大于70％。
6.如权利要求5所述的锻造方法，其特征在于，所述铸锭的长度为700mm～900mm，所述初始锻锭的长度为350mm～450mm。
7.如权利要求5所述的锻造方法，其特征在于，初始锻锭的长度为350mm～450mm；所述锻锭的长度为1450mm～1750mm。
8.如权利要求1或5所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造的时间小于50min；所述第二锻造的时间小于50min。
9.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，进行所述第一锻造之后，进行所述第二锻造，或者进行所述第一锻造之前，进行所述第二锻造。
10.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，通过油压机进行所述第一锻造和第二锻造。
11.一种靶材的形成方法，其特征在于，包括：
提供铸锭，所述铸锭为柱体；
对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向；
对所述锻锭进行成型加工处理，形成靶材。
12.如权利要求11所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述成型加工处理的步骤包括：对所述锻锭进行滚圆处理，形成锻件。
13.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，滚圆处理之后，还包括：对所述锻件进行第一退火处理。
14.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述铸锭为圆柱体，所述锻件为圆柱体；所述铸锭横截面的直径为350mm～450mm，所述锻件横截面的直径为170mm～210mm。
15.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述成型加工处理的步骤还包括：对所述锻件进行切割处理，形成切块。
16.如权利要求15所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述切割处理之后，对所述切块进行压延处理，减小所述切块的长度，形成初始靶材。
17.如权利要求16所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述切块为圆柱体，所述切块的长度小于或等于90mm。
18.如权利要求16所述的靶材的形成方法，其特征在于，进行压延处理之前，还包括：对所述切块进行第三锻造。
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