[发明专利]一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201611129480.7 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN106449791B 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 贾锐;桂羊羊;孙恒超;陶科;戴小宛;金智;刘新宇 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0304;H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 赵青朵
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 砷化镓 太阳电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)将石墨烯转移至砷化镓外延片表面的窗口层表面,形成石墨烯层;

2)在石墨烯层表面制备重掺杂砷化镓帽子层;

3)在砷化镓外延片衬底表面制备背面电极,在重掺杂砷化镓帽子层表面制备正面电极;

4)采用化学腐蚀法腐蚀正面电极栅线间的重掺杂砷化镓帽子层,露出石墨烯层,在所述露出的石墨烯层表面制备减反层。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述石墨烯层的石墨烯为1~10层。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中,石墨烯层的转移方法为湿法转移法、干法转移法、电化学转移法中的任意一种或几种。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)之前还包括,将砷化镓外延片放入化学清洗液中水浴加热进行表面清洗,取出后吹干。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述化学清洗液为丙酮、异丙醇、无水乙醇、盐酸、硫酸、氨水、双氧水和去离子水中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤4)中,化学腐蚀法的腐蚀液为氨水、双氧水、柠檬酸、柠檬酸钾和磷酸中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述砷化镓外延片的结构为单结或多结联级结构。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述砷化镓外延片的结构为单结砷化镓/砷化镓、单结砷化镓/锗、双结镓铟磷/砷化镓、双结镓铟磷/镓铟磷、双结铝镓铟磷/砷化镓、双结铝镓铟磷/铟镓磷、三结镓铟磷/砷化镓/锗、三结铝镓铟磷/砷化镓/锗、三结镓铟磷/铟镓砷/锗和三结铝镓铟磷/铟镓砷/锗中的任意一种或多种。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述背面电极为金、锗、镍、银、铝、钯、钛、铬、铜、氧化铟锡和铝掺杂氧化锌中的一种或几种的复合电极;所述正面电极为金、锗、镍、银、铝、钯、钛、铬、铜、氧化铟锡和铝掺杂氧化锌中的一种或几种的复合电极。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述减反层为ZnS、Al2O3、MgF2、TiO2、SiO2和Si3N4中的一种或几种材料复合而成。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611129480.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top