[发明专利]锻造拔长模具圆弧面内部缺陷的检测方法

说明书

本发明涉及一种锻造拔长模具圆弧面内部缺陷的检测方法，包括：检测大圆弧面时，利用相控阵超声检测设备，采用能够调节曲率的楔块调节其曲率与被检大圆弧相同或基本一致，利用灵敏度试块调节检测灵敏度，以第一检测参数把探头紧贴在大圆弧的内表面对大圆弧内部进行检测；检测过渡圆弧时，调节楔块曲率与被检过渡圆弧相同或基本一致，利用灵敏度试块调节检测灵敏度，以第二检测参数把所述探头紧贴过渡圆弧面的外表面进行检测，所述第二检测参数中检测阵元数值低于第一检测参数。本发明可以同时检测直径36～220mm范围内的圆弧及其过渡圆弧，检测期间不用换探头及楔块。检测效率大幅提高。同时，通过灵敏度试块设计，大幅提高了检测的灵敏度。

技术领域

本发明属于超声波探伤技术领域，具体涉及一种锻造拔长模具圆弧面内部缺陷的检测方法，该锻造拔长模可以用于制造溅射靶材的金属铸锭。

背景技术

射靶材作为镀膜领域的一种关键材料，常用于大规模集成电路芯片、LCD等离子显示屏、照相机镜头、建筑和汽车工业用玻璃的镀膜。为保证溅射时薄膜的沉积速率高及均匀的薄膜厚度，溅射靶材应该具有均匀的内部组织结构，包括均匀细小的晶粒、均匀的织构分布。

熔炼生产出的铸锭晶粒粗大，这就必须对铸锭进行锻造加工以破碎其内部粗大的柱状晶粒，同时锻合铸锭内部的气孔，使铸锭更致密。拔长是破碎晶粒的一种有效手段，铸锭晶粒粗大必须通过金属铸锭的锻造拔长模具施加较大压力以破碎晶粒，使其晶粒细化，晶粒比较均匀。在这过程中，压力的均匀性是保证溅射靶材质量的最主要因素。压力的均匀性必须通过模具质量来保证。在高压下，模具易出现裂纹，特别在受力最大的大圆弧面，易出现裂纹。模具在出现裂纹后，锻造压力、拔长压力无法达到，因而无法保障溅射靶材内部质量。因此必须在加工前，对其进行检测，传统的检测方法是先检测大圆弧面，后采用特殊的方法检测过渡圆弧R，这种手段检测效率低，检测灵敏度不高，需要变换探头及楔块，成本高。

发明内容

本发明针对上述不足，提供一种锻造拔长模具圆弧面内部缺陷检测方法。采用该方法可以同时检测大圆弧面和过渡圆弧R。

本发明的技术方案为：一种锻造拔长模具圆弧面内部缺陷的检测方法，包括：

通过灵敏度试块调节检测灵敏度，所述灵敏度试块包括从台阶处下凹的大圆弧面，以及大圆弧面与台阶相接处的两个过渡圆弧面，大圆弧面与过渡圆弧面尺寸与锻造拔长模具相同；

所述灵敏度试块具有：在其中一个过渡圆弧处的第一个横孔，用于调节过渡圆弧检测灵敏度；在过渡圆弧与台阶相接处的第二个横孔；在过渡圆弧与大圆弧面的相接处的第三个横孔；在大圆弧面底部的第四个横孔；在大圆弧面处位于第四个横孔上方的第五个横孔，用于调节大圆弧检测灵敏度；第二、三和四个横孔用于调探头的扫描角；

检测大圆弧面时，利用相控阵超声检测设备，采用能够调节曲率的楔块调节其曲率与被检大圆弧相同或基本一致，利用灵敏度试块调节检测灵敏度，以第一检测参数把探头紧贴在大圆弧的内表面对大圆弧内部进行检测；

检测过渡圆弧时，调节楔块曲率与被检过渡圆弧相同或基本一致，利用灵敏度试块调节检测灵敏度，以第二检测参数把所述探头紧贴过渡圆弧面的外表面进行检测，所述第二检测参数中检测阵元数值低于第一检测参数。

在本发明一个具体实施方式中，五个横孔均距离圆弧面1～6mm，直径1～3mm。

在本发明一个具体实施方式中，第一个横孔位于其中一个过渡圆弧的对称轴处；第二个横孔位于另一个过渡圆弧与台阶相接处；第三个横孔在所述另一个过渡圆弧与大圆弧面的相接处；第四个横孔在大圆弧面的对称轴处；第五个横孔在大圆弧面位于第一个横孔一侧的1/4圆弧处。