[发明专利]压电陶瓷致动片及其制备方法

说明书

本发明提供了一种压电陶瓷致动片及其制备方法，涉及压电陶瓷元件技术领域，包括第一压电陶瓷片和增韧陶瓷基板，所述增韧陶瓷基板设置于所述第一压电陶瓷片的下方，所述第一压电陶瓷片和所述增韧陶瓷基板一体共烧成型,所述增韧陶瓷基板作为支撑基板，与第一压电陶瓷片形成压电陶瓷致动片，解决了现有技术中的压电陶瓷致动片，压电陶瓷片和支撑基板之间采用胶粘剂连接，由于胶粘剂的老化而导致在使用过程中性能不稳定，可靠性差的技术问题，达到了第一压电陶瓷片和增韧陶瓷基板之间的连接致密稳定，压电陶瓷致动片在使用过程中性能稳定，可靠性好的技术效果。

技术领域

本发明涉及压电陶瓷元件技术领域，尤其是涉及一种压电陶瓷致动片及其制备方法。

背景技术

随着电子技术的发展，利用压电技术的正压电效应或者逆压电效应形成的压电陶瓷致动片在很多领域得到了广泛的应用，如压电马达、压电泵、高速智能阀门、经编机贾卡，纬编机选针器等。

现有的压电陶瓷致动片包括压电陶瓷片和支撑基板，压电陶瓷片通过胶粘剂与支撑基板粘合连接，但是由于胶粘剂固化过程中产生收缩，导致压电陶瓷片和支撑基板之间产生收缩应力，且胶粘剂容易老化变形，使得压电陶瓷致动片在使用过程中的性能不稳定，可靠性差。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种压电陶瓷致动片，以解决现有技术中的压电陶瓷致动片，其压电陶瓷片通过胶粘剂与支撑基板粘合连接，由于胶粘剂的固化过程中产生收缩，且胶粘剂容易老化变形，导致压电陶瓷致动片在使用过程中性能不稳定，可靠性差的技术问题。

本发明提供的压电陶瓷致动片，包括第一压电陶瓷片和增韧陶瓷基板，所述增韧陶瓷基板设置于所述第一压电陶瓷片的下方，所述第一压电陶瓷片和所述增韧陶瓷基板一体共烧成型；所述第一压电陶瓷片包括第一陶瓷片、第一外电极片和第一内电极片，所述第一外电极片设置于所述第一陶瓷片的上表面，所述第一内电极片设置于所述第一陶瓷片的下表面。

进一步的，所述第一压电陶瓷片为单层结构或多层结构。

进一步的，所述压电陶瓷致动片还包括第一焊盘和第二焊盘，所述第一焊盘与所述第一外电极片连接，所述第二焊盘与所述第一内电极片连接。

进一步的，所述压电陶瓷致动片还包括第二压电陶瓷片，所述第二压电陶瓷片设置于所述增韧陶瓷基板的下方，所述第一压电陶瓷片、所述增韧陶瓷基板和所述第二压电陶瓷片一体共烧成型；所述第二压电陶瓷片包括第二陶瓷片、第二外电极片和第二内电极片，所述第二外电极片设置于所述第二陶瓷片的下表面，所述第二内电极片设置于所述第二陶瓷片的上表面。

进一步的，所述第二压电陶瓷片为单层结构或多层结构。

进一步的，所述压电陶瓷致动片还包括第三焊盘、第四焊盘和第五焊盘，所述第三焊盘与所述第一外电极片连接，所述第四焊盘分别与所述第一内电极片和所述第二内电极片连接，所述第五焊盘与第二外电极片连接。

进一步的，所述压电陶瓷致动片还包括第六焊盘、第七焊盘、第八焊盘和第九焊盘，所述第六焊盘与所述第一外电极片连接，所述第七焊盘与所述第一内电极片连接，所述第八焊盘与所述第二内电极片连接，所述第九焊盘与第二外电极片连接。

本发明的目的之二在于提供上述压电陶瓷致动片的制备方法，包括如下步骤，

(A)制备增韧陶瓷基板生坯和第一陶瓷片生坯；

(B)在所述第一陶瓷片生坯的上下表面分别制备第一外电极片和第一内电极片，制得第一压电陶瓷片生坯；

(C)将所述第一压电陶瓷片生坯放置于所述增韧陶瓷基板的上表面，进行共烧，制得压电陶瓷致动片半成品；

(D)将所述压电陶瓷致动片半成品进行极化处理，即制成压电陶瓷致动片。