[发明专利]一种刀具复合涂层的制备方法

权利要求书

1.一种刀具复合涂层的制备方法，包括以下步骤：

A)，将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上，抽真空，高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空度高于(1～5)×10^-3Pa时开启加热器至温度为300～500℃，工件架的转速为2～5rpm，当真空度为(1.2～5.5)×10^-3Pa时，调节电加热器至温度为200～400℃；

B)，在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体，开启偏压电源对刀具进行辉光清洗，真空度为0.3～0.9Pa，偏压为800～1200V；

C)，辉光清洗结束后将高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空调节为(1～9)×10^-1Pa，开启高功率脉冲磁控溅射电源溅射钛靶，轰击刀具基体生长Ti金属结合层，偏压为500～1000V，占空比3～5％；

D)，轰击完毕后，偏压降至50～400V，脉冲电源占空比为3％，打开氮气流量计阀门调节真空室气压为0.6～0.7Pa，控制TiSi靶材的功率为1～3KW，峰值脉冲电压为800～1000V，开始沉积TiN过渡层和TiSiN功能层，沉积60～100min，冷却后得到刀具复合涂层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述刀具的基体材质为硬质合金基体、不锈钢、高速钢或工具钢。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤B)中，所述辉光清洗的时间为10～30min。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述刀具轰击的时间为5～40min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述Ti金属结合层的厚度为60～300nm，所述TiN过渡层的厚度为60～300nm。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述Ti金属结合层的厚度为100～200nm，所述TiN过渡层的厚度为100～200nm。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤A)中，开启加热器至温度为400～450℃。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述偏压为600～800V。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤D)中，所述冷却的温度为50℃以下。