[发明专利]磁轴承式真空泵

权利要求书

1.一种磁轴承式真空泵，其特征在于包括：

磁轴承，使转子磁悬浮；

第一位移信号生成部，以K＞1的分辨率倍率K对经由所述转子的从规定位置算起的位移而调制后的位移调制波信号进行放大，基于放大后的所述位移调制波信号，生成包含所述规定位置的第一位移区域中的高分辨率位移信号；

第二位移信号生成部，基于所述位移调制波信号，生成包含所述第一位移区域的更大的第二位移区域中的低分辨率位移信号；

选择部，基于从所述高分辨率位移信号或所述低分辨率位移信号中除去稳态响应离心旋转位移的成分所得的非稳态响应信号，选择所述高分辨率位移信号及所述低分辨率位移信号中的任一个位移信号；以及

轴承控制部，基于所述选择部所选择的位移信号来对所述磁轴承进行控制。

2.根据权利要求1所述的磁轴承式真空泵，其特征在于还包括：

稳态响应运算部，基于所述高分辨率位移信号或所述低分辨率位移信号，计算出稳态响应离心旋转半径；以及

倍率变更部，将所述分辨率倍率K的大小变更为与所述稳态响应离心旋转半径的大小相对应的多个值中的任一个值。

3.根据权利要求1所述的磁轴承式真空泵，其特征在于：

所述第一位移信号生成部包括：第一带通滤波器，具有第一Q值，对所述位移调制波信号进行滤波；放大部，以所述分辨率倍率K对通过所述第一带通滤波器后的信号进行放大；第一模拟数字转换部，对放大后的所述信号进行模拟-数字转换；以及缩小部，以小于“1/分辨率倍率”的缩小率来使经过模拟-数字转换后的所述信号缩小，基于缩小后的所述信号，生成所述高分辨率位移信号，

所述第二位移信号生成部包括：第二带通滤波器，具有比所述第一Q值更小的第二Q值，对所述位移调制波信号进行滤波；以及第二模拟数字转换部，对通过所述第二带通滤波器后的信号进行模拟-数字转换，基于所述第二模拟数字转换部所输出的信号，生成所述低分辨率位移信号。

4.根据权利要求2所述的磁轴承式真空泵，其特征在于：

将所述分辨率倍率K变更为比第一值更小的第二值时的所述稳态响应离心旋转半径，被设定为比从所述第二值变更为所述第一值时的所述稳态响应离心旋转半径大规定迟滞宽度。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的磁轴承式真空泵，其特征在于：

若所述非稳态响应信号的值从第一信号区域的区域外变化至区域内，则所述选择部将选择的位移信号从所述低分辨率位移信号切换为所述高分辨率位移信号，若所述非稳态响应信号的值从包含所述第一信号区域的更大的第二信号区域的区域内变化至区域外，则所述选择部将选择的位移信号从所述高分辨率位移信号切换为所述低分辨率位移信号。

6.根据权利要求2或4所述的磁轴承式真空泵，其特征在于：

当将所述稳态响应离心旋转半径与从所述规定位置算起的位移的上限值之比设为α时，以满足式“1/(3α)＜K＜1/α”的方式设定所述分辨率倍率K。

7.一种磁轴承式真空泵，其特征在于包括：

磁轴承，使转子磁悬浮；

第一位移信号生成部，以K＞1的分辨率倍率K对经由所述转子的从规定位置算起的位移而调制后的位移调制波信号进行放大，基于放大后的所述位移调制波信号，生成包含所述规定位置的第一位移区域中的高分辨率位移信号；

第二位移信号生成部，基于所述位移调制波信号，生成包含所述第一位移区域的更大的第二位移区域中的低分辨率位移信号；

选择部，选择所述高分辨率位移信号及所述低分辨率位移信号中的任一个位移信号；

轴承控制部，基于所述选择部所选择的位移信号来对所述磁轴承进行控制；

稳态响应运算部，基于所述高分辨率位移信号或所述低分辨率位移信号，计算出稳态响应离心旋转半径；以及

倍率变更部，将所述分辨率倍率K的大小变更为与所述稳态响应离心旋转半径的大小相对应的多个值中的任一个值。