[发明专利]一种沟槽型晶体管器件结构及制作方法在审
| 申请号： | 201611140369.8 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106684126A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陈雪萌;王艳颖;杨林森 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L21/336;H01L29/78 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 401331 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沟槽 晶体管 器件 结构 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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