[发明专利]一种利用光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法有效

专利信息
申请号: 201611146159.X 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN106769532B 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 郭长立;冯小强 申请(专利权)人: 西安科技大学
主分类号: G01N3/20 分类号: G01N3/20;G01M11/08
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 成丹
地址: 710054 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 光学平板玻璃 黑斑 弯曲刚度 平板玻璃 测量光学 干涉图像 测量 光干涉 牛顿环 螺丝 读取 读数显微镜 应力传感器 步骤实施 测量仪器 测量应用 测量周期 范围扩大 测量性 小样品 重复 可用 施加 记录
【说明书】:

发明公开了一种利用光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法,具体按照以下步骤实施:步骤1:通过螺丝施加应力于光学平板玻璃,并通过测量仪器显示应力传感器测量的应力,记录下应力的大小;步骤2:保持步骤1中的应力不变,通过读数显微镜读取在该应力下牛顿环干涉图像中心黑斑的直径Q,然后计算出黑斑的半径r;步骤3:通过螺丝改变应力的值,重复步骤1和步骤2,得到光学平板玻璃的不同应力及对应不同应力情况下牛顿环干涉图像中心黑斑的直径Q及半径r;步骤4:计算光学平板玻璃的弯曲刚度D。本发明测量方法简单,且测量周期相比传统缩短,测量应用范围扩大,没有大量的材料耗损,测量性重复好,且可用于测量小样品光学平板玻璃。

技术领域

本发明属于应用光学设备技术领域,涉及一种利用光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法。

背景技术

传统的光学平板玻璃弯曲刚度的测量方法包括机械法、声学法、光学法等,以机械法为主。一般是通过施加应力于光学平板玻璃,光学平板玻璃就会产生形变,通过一些特有的方法测出与施加应力所对应的形变,就可计算出光学平板玻璃的弯曲刚度。上述几种方法测量过程繁琐,测量周期很长,并且都是大样品测量,测量过程中光学平板玻璃有损破坏,既浪费了资源,可重复性也差。另外,传统方法难以测量小样品光学平板玻璃。而在实验室研究等方面所用到的光学平板玻璃样品均为小样品,如需得到它们的实际弯曲刚度值,必须通过光学平板玻璃厂家购买原装大块材料进行测量。

而用牛顿环光干涉法可以解决以上问题。牛顿环仪一般由一块曲率半径很大的平凸透镜和一块光学平板玻璃构成,采用波长589.3nm的钠黄光光源进行测量,钠黄光经反射镜反射以后垂直入射到牛顿环仪上,可在平凸透镜的表面产生等厚干涉条纹,通过调节牛顿环仪上的螺丝的松紧程度,可调整牛顿环仪光学平板玻璃体之间的应力,其干涉条纹会随之发生改变。本发明深入研究了牛顿环干涉图像与光学平板玻璃弯曲刚度的变换关系,得出了一种基于光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法。

发明内容

本发明的目的是提供一种利用光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法,解决了现有测量方法难以测量小尺寸光学平板玻璃的弯曲刚度,且测量方法以有损坏性测量为主的问题。

本发明所采用的技术方案是,一种利用光干涉法测量光学平板玻璃弯曲刚度的方法,具体按照以下步骤实施:

步骤1:通过螺丝施加应力于光学平板玻璃,并通过测量仪器显示应力传感器测量的应力,记录下应力的大小;

步骤2:保持步骤1中的应力不变,利用钠光源发出钠光,钠光经反射镜反射后垂直入射到平凸透镜上,通过读数显微镜读取在该应力下牛顿环干涉图像中心黑斑的直径Q,然后计算出黑斑的半径r;

步骤3:通过螺丝改变应力的值,重复步骤1和步骤2,得到光学平板玻璃的不同应力及对应不同应力情况下牛顿环干涉图像中心黑斑的直径Q及半径r;

步骤4:利用步骤3测得的数据,得到光学平板玻璃的弯曲刚度D:

其中,σ为光学平板玻璃的中心应力,D为光学平板玻璃的弯曲刚度,μ为光学平板玻璃的泊松比,a为光学平板玻璃的半径,r为牛顿环干涉条纹黑斑的半径,R为平凸透镜的标准曲率半径。

本发明的特点还在于:

采用的测量装置的具体结构包括底座,底座的凹槽中放置有应力传感器,应力传感器的探头高于底座的凹槽上表面,应力传感器的探头上放置有平凸透镜,平凸透镜上放置有光学平板玻璃,平凸透镜的凸面与光学平板玻璃接触,光学平板玻璃的上表面边缘上放置有上盖,上盖通过固定螺丝与底座连接,上盖与底座之间有空隙;采用的测量装置的具体结构包括底座,底座的凹槽中放置有应力传感器,应力传感器的探头高于底座的凹槽上表面,应力传感器的探头上放置有平凸透镜,平凸透镜上放置有光学平板玻璃,平凸透镜的凸面与光学平板玻璃接触,光学平板玻璃的上表面边缘上放置有上盖,上盖通过固定螺丝与底座连接,上盖与底座之间有空隙;

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