[发明专利]一种基于晶格渐变型二维光子晶体和交叉双横梁结构的压力传感器

权利要求书

1.一种基于晶格渐变型光子晶体结构及交叉双横梁结构的可扩量程压力传感器，特征在于：可扩量程压力传感器利用晶格渐变在一块硅板上集成了三个空气孔三角晶格型的二维光子晶体平板传感单元，晶格常数依次为478nm,488nm和498nm,其中每个传感单元是由W1波导与侧边单个微腔耦合形成；在此基础上，加入交叉双横梁结构，受力横梁与位移横梁相互垂直连接，当受力横梁受到压力发生形变的时候，位移横梁向下移动，位于位移横梁上的3个高度等差的硅传感柱下移，依次通过与硅传感柱相对应的三个传感单元的微腔。

2.根据权利要求1所述的基于晶格渐变型光子晶体结构及交叉双横梁结构的可扩量程压力传感器，其特征在于利用晶格渐变型光子晶体实现可扩量程压力传感器的设计，采用三个不同晶格的光子晶体结构，每个结构之间晶格常数等差，使得谐振峰之间性能相近并且频率间隔相同。

3.根据权利要求1所述的基于晶格渐变型光子晶体结构及交叉双横梁结构的可扩量程压力传感器，其特征在于利用等高度差的硅传感柱实现了可扩量程压力传感器，谐振峰随着压力的增大先后偏移，通过测量输出端各个谐振峰之间的偏移量，可以测量较大的力的变化，其量程为单个传感单元的整数倍。